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国家科技型中小企业技术创新基金(05C26224301143)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：龙丽娟李德良罗洁彭芸更多>>
相关机构：中南林业科技大学更多>>
发文基金：国家科技型中小企业技术创新基金更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇乙醇
  • 1篇乙醇胺
  • 1篇铜液
  • 1篇碱性
  • 1篇醇胺

机构

  • 1篇中南林业科技...

作者

  • 1篇彭芸
  • 1篇罗洁
  • 1篇李德良
  • 1篇龙丽娟

传媒

  • 1篇表面技术

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
乙醇胺碱性蚀铜液的研究被引量：2
2008年
为了开发一种新型碱性蚀刻液以代替传统的氨类蚀刻液，该蚀刻液的组成特点是以铜一乙醇胺络合物、氯离子和碱性pH缓冲液作为主要成分。分别采用静态吊片蚀刻法和动态喷淋蚀刻研究方法探索了其最佳配方和操作条件，结果表明在铜离子浓度为85～95g／L，氯离子浓度3．5～4．5mol/L，乙醇胺浓度4．5～5mol/L，添加剂浓度0．5～1．5g／L，pH为8．5～9．0，操作温度为55～60℃时，其蚀刻状态最佳，相应的静态和动态蚀刻速率分别达6μm/min和20μm/min，与氨类蚀刻液的对应指标相当，且防侧蚀指标更高。结论是该碱性蚀刻液在生产配制、使用和再生循环过程中无废气排放，技术指标优越，具有良好的工业应用前景。
李德良王丹罗洁龙丽娟彭芸
关键词：乙醇胺
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