国家自然科学基金(10772086)
- 作品数：5 被引量：7H指数：1
- 相关作者：康新何小元苏岩施芹裘安萍更多>>
- 相关机构：南京理工大学东南大学无锡中微高科电子有限公司更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省“青蓝工程”基金江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术机械工程理学化学工程更多>>
- 硅微陀螺仪器件级真空封装被引量：5
- 2009年
- 为实现硅微陀螺仪真空封装以提高其性能,对硅微陀螺仪器件级真空封装技术进行研究。首先,设计硅微陀螺仪的专用陶瓷封装管壳,并采用钎焊技术进行封帽,采用金锑合金为焊料以满足封装过程中的高温。分析除气工艺对硅微陀螺仪品质因数的影响,除气试验结果表明,将硅微陀螺仪芯片和封装壳体放置在真空炉中进行高温烘烤,能有效地提高硅微陀螺仪的品质因数。制定硅微陀螺仪器件级真空封装的工艺流程,封装好的硅微陀螺仪的品质因数约为10363.7,约为空气下的50倍。硅微陀螺仪品质因数跟踪测试结果表明,真空封装的硅微陀螺仪存储5个月后,其品质因数降低为最初的55.1%,这表明采用该器件级真空封装技术封装的硅微陀螺仪的真空保持度较差,有待进一步研究。
- 施芹丁荣峥苏岩裘安萍
- 关键词：硅微陀螺仪品质因数
- 显微干涉法在MEMS结构三维形貌测试中的应用
- 2009年
- 鉴于三维形貌在微机电系统(MEMS)测试领域的重要地位及显微干涉法在光学计量领域的高精度性能,开展了显微干涉法在MEMS结构三维形貌测试中的应用研究.基于小波变换极高的去噪性能及处理无载波条纹的优点,包裹相位采用连续小波变换的方法提取.基于展开相位拐点与符号歧义点的单应性,开展了通过检测展开相位拐点并对展开相位进行校正的方法恢复非单调条纹图的真实相位的研究.采用上述方法,成功测试了微梁的静、动态三维形貌及手机芯片的翘曲变形.该项研究为MEMS结构的三维形貌测试提供了高精度且简单快速的测量手段.
- 孙伟刘雯雯康新何小元
- 关键词：计量学微机电系统三维形貌手机芯片
- 显微干涉法在微结构三维形貌测试中的应用
- <正>鉴于三维形貌在微结构测试领域的重要地位及显微干涉法在光学计量领域的高精度性能,开展了显微干涉法在微结构三维形貌测试中的应用研究。基于小波变换极高的去噪性能及处理无载波条纹的优点,包裹相位采用连续小波变换的方法提取。...
- 孙伟何小元
- 关键词：微结构三维形貌手机芯片
- 文献传递
- 一种去除数字全息零级像的新方法(英文)
- 2009年
- 为了去除数字全息零级像,提出了用离散全息图的微分强度替代全息图本身用于数字重建的新方法.该方法基于数字图像处理技术,通过对离轴数字全息图的空间频谱分析,首先理论上证明数字全息图的强度经过微分后再重建,可有效去除零级像;然后将实验采集到的全息图在程序中先微分再重建.理论分析和数字重建结果都表明,该方法可以有效地去除数字全息零级像在重建图像中心产生的大亮斑,从而显著提高重建图像的质量,使得重建像具有良好的对比度,且不需要其他辅助设备或多次全息记录,实验操作简单,方便快捷.
- 刘雯雯康新戴宜全何小元
- 关键词：数字全息数字图像处理
- Non-contact evaluation of the resonant frequency of a microstructure using ultrasonic wave被引量：1
- 2010年
- 这份报纸为评估微观结构的反响的频率论述一个新奇非接触方法。第一，在测试下面的微观结构被超声的波浪激动。这个刺激方法不在这是的象静电的刺激一样并且也的标本上强加任何未定义的负担为在文学使微观结构激动的超声的波浪的第一实际使用。第二，微观结构的振幅被图象边察觉在微观结构的颤动的图象上用墨西哥帽子小浪变换决定。当微观结构被超声的波浪在一系列分离高频率颤动时，颤动的图象被一个电荷耦合器件照相机捕获(> 30 kHz ) 。在处理颤动的图象之上，在各种各样的刺激频率的振幅被获得，一个振幅频率系列从反响的频率随后从哪个被评估被获得。由一个穿孔盘子组成的微硅结构(192 脳 192 渭 m ) 并且二根伸臂横梁(76 脳 43 渭 m ) 它是大约 4 渭 m 厚度被测试。一个测试目标上的后来，激光 interferometry 没被要求的、热效果能被避免。因此，安装相对简单。结果证明建议方法是为评估微观结构的动态特征的一条简单、有效的途径。关键词非接触 - 微观结构 - 反响的频率 - 超声的波浪 - 处理工程的图象由中国(10772086 和 10727201 ) 和新加坡(R-265-000-140-112 ) 的国家大学的国家自然科学基础支持了。
- X. KangX. Y. HeC.J. TayC. Quan
- 关键词：超声波振动振动图像图像边缘检测CCD相机
- 单层压电弯曲微执行器的非线性静态特性(英文)被引量：1
- 2010年
- 采用偶应力理论对单层压电悬臂梁式微执行器在强外加电场作用下的非线性静态特征进行了研究.悬臂式执行器包括压电层、被动(弹性)层和2个电极层.首先,采用瑞利-里兹方法分析了在强外加电场作用下由于压电层电致伸缩效应引起的执行器非线性静态特性.其次,由于悬臂执行器的厚度在μm量级,存在变形尺度效应,采用偶应力理论对变形的尺度效应进行了分析.分析结果表明:悬臂执行器的非线性随着外加电场强度的增大而增大,当外加电场很大时,出现刚度软化现象;而且,执行器被动层和压电层厚度比的最优值不是通常采用的1.0.在微尺度下,由于微梁变形存在尺度效应,该厚度比的最优值应比1.0大.
- 康新董萼良章定国
- 关键词：偶应力理论
