广东省自然科学基金(s2012010009022)
- 作品数：7 被引量：12H指数：2
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- 喷淋蚀刻模具钢的蚀刻深度研究
- 2013年
- 采用喷淋式蚀刻机,以FeCl3基蚀刻液对模具钢进行喷淋蚀刻,通过测定不同蚀刻液温度、不同喷淋压力下的蚀刻深度,考察了几个独立因素对蚀刻深度的影响,得出蚀刻深度的规律性变化:蚀刻深度增长速率随蚀刻液温度的升高而增大,随喷淋压力的增大而先增大,后逐渐减小。分析了蚀刻深度呈此种变化规律的原因。
- 宋卿于兆勤张永俊王冠
- 模具钢微细蚀刻速率的研究
- 2013年
- 目的研究模具钢微细蚀刻中，蚀刻速率的变化规律。方法采用蚀刻液喷淋加工方式，对掩膜的模具钢表面进行蚀刻．考察掩膜间隙、蚀刻液啧淋压力、蚀刻液温度对蚀刻速率的影响。结果蚀刻速率随掩膜间隙尺寸的增大而增加，当掩膜尺寸大于150μm时，蚀刻速率增长较快；较大的喷淋压力有利于蚀刻液的更新和蚀刻产物的排除，使得蚀刻反应充分，蚀刻速率较高；温度在一定范围内升高，蚀刻液活性增大，蚀刻效率提高，蚀刻速率增大。结论最佳工艺条件为：掩膜间隙尺寸150～200μm，蚀刻液喷淋压力1．0～1．4MPa．蚀刻液温度35～40℃。在此加工条件下．模具钢的蚀刻速率高，加工效率高．同时可以保证较好的蚀刻尺寸精度。
- 宋卿张永俊于兆勤王冠
- 关键词：模具钢
- 微热管内壁微结构电化学加工机床控制系统被引量：3
- 2014年
- 内表面具有大量非连续强化传热微结构的微热管,因传热性能突出而成为新型微电子器件散热的关键零件。针对微热管内表面非连续微结构加工中的技术难题,提出基于变截面多线螺旋电极的微细电解加工新方法,并自主研制了一台利用Lab VIEW进行运动控制的微细电解加工机床。介绍了机床的结构、原理、控制系统硬件设计和软件设计。该微细电解加工机床可实现套筒类金属零件的内表面微结构低成本、高效率、高表面质量的电解加工成型。
- 王亚坤王冠王梅梅郭钟宁
- 关键词：微热管微结构
- 模具钢喷淋微细蚀刻的侧蚀研究
- 2014年
- 对掩膜处理的模具钢进行喷淋微细蚀刻,观测表面微观结构,分析掩膜间隙尺寸、喷淋压力对侧蚀量的影响。实验表明,随着掩膜间隙尺寸的增大,侧蚀量增大,这是因为微结构凹坑内部蚀刻液的滞留和对O2阻碍作用,造成了不同部位蚀刻速率不同,发生侧蚀;喷淋压力增大也导致侧蚀量增加,因为较大压力下蚀刻液的侧向蚀除力大,侧向蚀除作用强,同时蚀刻液更新频率快,反应速率提高,侧蚀增大。在微细蚀刻加工中合理地选择掩膜间隙尺寸,控制加工时间和喷淋压力,可以较好地控制侧蚀,保证较高的加工尺寸精度。
- 宋卿于兆勤王冠郭钟宁黄红光
- 关键词：侧蚀
- 螺旋电极微细电解加工的流场仿真与实验研究被引量：2
- 2015年
- 采用CFD(Computational Fluid Dynamics)计算软件FLUENT,对螺旋电极微细电解加工间隙内复杂流场的变化做数值模拟分析,分析了加工间隙、电解液流速及压力等因素对流场的影响,获得最优的流场分布,从而提高了微细电解加工稳定性。
- 孙涛涛于兆勤吴明王冠程丽文
- 关键词：微细电解加工有限元法流场分析
- 模具钢表面阵列微结构蚀刻工艺的实验研究被引量：5
- 2014年
- 通过喷淋蚀刻实验研究了模具钢微细蚀刻加工时,工件掩膜间隙、蚀刻液喷淋压力和加工时间对蚀刻深度的影响。蚀刻深度随掩膜间隙的蚀刻尺寸、加工时间的增加而增大,随蚀刻液喷淋压力的增大呈先增大后减小趋势。这归因于掩膜间隙和蚀刻液喷淋压力的增大加快了蚀刻液的更新,使蚀刻反应充分并有利于反应杂质的排除。但是过大的喷淋压力减小了蚀刻液驻留时间,阻碍了蚀刻深度的增加。
- 黄红光郭钟宁王冠宋卿
- 内壁表面微结构加工技术的发展与应用被引量：2
- 2015年
- 针对现有的内壁表面微结构加工方法进行论述,分析了各种工艺方法的优点及其存在的问题,对内壁表面微结构的应用进行了简要说明。在此基础上提出了用微细电解加工技术对微管内壁表面进行微结构加工,并且分析了内壁表面微结构的发展趋势。
- 孙涛涛于兆勤吴明王冠
- 关键词：微细电解微结构螺旋电极
