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陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室开放基金(ZSKJ200702)
作品数:
1
被引量:9
H指数:1
相关作者:
张建科
王党社
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相关机构:
西安工业大学
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发文基金:
陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室开放基金
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张建科
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1篇
2008
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薄膜光学常数的粒子群算法
被引量:9
2008年
为解决椭偏法测量薄膜厚度和折射率实验数据处理较为复杂的问题,采用一种新的基于群体智能的优化算法——粒子群算法处理实验数据.以单层吸收薄膜的测量为例,利用该算法进行数据处理.实验结果表明,可以同时获得3个薄膜参数(折射率n,消光系数k和薄膜厚度d),而且在确切参数范围未知情况下,大范围内进行搜索仍然能保证快速收敛到最优解.该算法与遗传算法以及利用椭偏仪数据处理软件得出的结果相比较,计算精度高,收敛速度快.
王党社
张建科
徐均琪
关键词:
粒子群算法
椭偏法
光学薄膜
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