福建省自然科学基金(A0110003)
- 作品数：10 被引量：23H指数：3
- 相关作者：孙道恒王明亮王凌云陈义华吕文龙更多>>
- 相关机构：厦门大学厦门理工学院厦门鹭江大学更多>>
- 发文基金：福建省自然科学基金福建省科技计划重点项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术电子电信化学工程更多>>
- 基于隧道效应振动梁式陀螺仪自检电极设计
- 2006年
- 在微机电系统内建立自检系统是提高系统运行可靠性、安全性的重要手段之一。陀螺仪中的Coriolis力和其他惯性力存在一定的差别,即使在恒定的角速度输入下,Coriolis力也是一种动态变化的力。通过一对平板电极,其中,一个平板电极的边缘按照一定的函数变化,当陀螺仪的悬臂梁振动时,其平板间的静电力的变化能很好地模拟陀螺仪中的Coriolis力,有限元分析结果也表明:应用该方法完全能实现陀螺的自检和测试。
- 王凌云陈义华孙道恒
- 关键词：可靠性陀螺仪平板电极
- 扇形梳齿驱动式微机械隧道陀螺仪的初步研究被引量：1
- 2006年
- 设计了一种扇形梳齿驱动式隧道陀螺仪,意在取代现有的平板驱动方式,以此来提高陀螺仪的灵敏度.从扇形梳齿驱动的工作原理出发,推导了该型陀螺仪的运动方程,分析了结构参数与其灵敏度的内在联系.在此基础上,对陀螺仪设计中与陀螺仪性能相关的机械耦合、静电驱动频率和敏感方向刚度等问题进行了有益的探讨,揭示了静电驱动频率的选择与敏感方向品质因子和驱动方向品质因子大小之间的内在联系,为陀螺仪的尺寸优化设计奠定了理论基础.
- 王凌云刘益芳孙道恒
- 关键词：微机械陀螺仪
- 变截面梁的微电镀研究
- 2005年
- 介绍了微电镀原理和设计了微电镀平台,设计了悬臂梁的微电镀工艺流程.为了提高镍微电镀镀层的均匀性和降低镀层的内应力,以及如何解决表面积差异悬殊的镀层厚度的一致性问题,研究了不同电镀参数下的悬臂梁的电镀效果.实验结果表明,脉冲电源电镀优于直流电源电镀,且在阴极前放置细铁丝网、适当降低电流密度、增大占空比、延长电镀时间可以提高镀层厚度的一致性和镀层表面的均匀性.
- 刘益芳吕文龙孙道恒
- 关键词：悬臂梁变截面一致性
- 表面微加工中镍的微电铸被引量：1
- 2005年
- 介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有价值的电铸参数,对电铸中存在的问题进行了阐述.实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构.
- 吕文龙陈义华孙道恒
- 关键词：微电铸脉冲镍
- 微尖的两种制作工艺
- 2004年
- 描述各向异性腐蚀结合键合和各向异性腐蚀结合电镀来制作微尖的方法,利用这两种方法制作出了针尖直径小于25nm的金字塔形微尖,通过实验证明:这是两种有良好可控性和工艺要求不高的制作方法。微尖的成功制作为传感器微型化提供了一种很有潜力的新型检测方式,解决了检测的灵敏度问题。
- 王明亮王艳华郑剑铭孙道恒
- 关键词：各向异性电镀
- 表面微加工中镍的微电铸
- 介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点。搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比。利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组...
- 吕文龙陈义华孙道恒
- 关键词：微电铸脉冲镍
- 文献传递
- 微机械隧道陀螺仪中微弱信号的检测技术被引量：9
- 2004年
- 针对微机械隧道陀螺仪输出信号的特点,设计出陀螺仪隧道电流的检测及校准电路.同时从理论上对电路进行误差分析,并对电路的实际安装技术进行了讨论.最后通过实际电路验证了该设计的可行性.
- 郑剑铭王凌云王明亮孙道恒
- 关键词：微弱信号惯性传感器扫描隧道显微镜
- 硅尖的制备及在传感器技术中的应用被引量：1
- 2003年
- 介绍了硅尖的制备及其在传感器技术中的应用。硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖,故比其它材料微尖更实用。硅尖的应用随着制备工艺的改进与其它相关技术的进步必将得到新的开发。
- 王艳华王明亮孙道恒马海阳
- 关键词：硅尖刻蚀微加工技术传感器
- 悬臂梁式微机械隧道陀螺的结构设计与性能分析被引量：5
- 2005年
- 介绍了电子隧道效应在微机械陀螺仪中的应用,根据电子隧道效应的特点与要求提出了隧道陀螺仪的结构方案,利用ANSYS进行系统模态分析、静电-结构的耦合场分析及系统的性能分析。讨论了系统的机械灵敏度及隧道电流与隧道电极间隙的关系。
- 李文望孙道恒
- 关键词：微机械电子隧道效应
- 变截面梁的微电镀研究
- 介绍了微电镀原理和设计了微电镀平台,设计了悬臂梁的微电镀工艺流程。为了提高镍微电镀镀层的均匀性和降低镀层的内应力,以及如何解决表面积差异悬殊的镀层厚度的一致性问题,研究了不同电镀参数下的悬臂梁的电镀效果。实验结果表明,脉...
- 刘益芳吕文龙孙道恒
- 关键词：悬臂梁变截面一致性
- 文献传递
