上海市教育委员会创新基金(09YZ367)
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
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- 磁控溅射法制备Zn_(1-x)Co_xO薄膜的磁性能被引量：1
- 2009年
- 采用磁控溅射工艺,在玻璃基片上制备了Zn1-xCoxO（x=0.02～0.15）稀磁半导体薄膜。采用X-射线衍射（XRD）、X射线光电子能谱（XPS）、原子力显微镜（AFM）、振动样品磁强计（VSM）研究了薄膜的相结构、化学成分及价态、表面形貌和磁性能。结果表明,本实验条件下,薄膜不存在Co及Co的氧化物相,薄膜中Zn的化学价为＋2,Co则以＋2和＋4价的形式存在;薄膜晶体结构为c轴取向生长的六方纤锌矿结构;薄膜表面平整致密。在温度为300 K时,Zn0.9Co0.1O薄膜呈铁磁效应,在M-H曲线中观测到明显的磁滞回线特征。
- 林文松欧阳辰鑫何亮王伟
- 关键词：磁控溅射稀磁半导体磁性
- TiB_2靶材及涂层的制备
- 2009年
- 采用Ti粉和B粉燃烧合成制备了TiB2粉末,将所得粉末真空热压后得到TiB2磁控溅射靶材,并用射频溅射方法在不锈钢基片上沉积了TiB2涂层。采用XRD法检测了靶材和涂层的相结构组成;测试了涂层的显微硬度、干摩擦磨损性能。结果表明:靶材和涂层都由TiB2单相组成;与没有涂层的基片相比,TiB2涂层大幅度地提高了基片的硬度和耐磨性。
- 欧阳辰鑫林文松吴柯夫
- 关键词：燃烧合成TIB2涂层磁控溅射
