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国家自然科学基金(69876003)

作品数：3 被引量：30H指数：1
相关作者：杨宁陈光华朱鹤孙张阳张阳更多>>
相关机构：北京工业大学北京理工大学更多>>
发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学化学工程更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇理学
  • 1篇化学工程

主题

  • 2篇英文
  • 1篇氮化碳
  • 1篇氮化碳薄膜
  • 1篇汽相沉积
  • 1篇蒙特卡罗模拟
  • 1篇化学汽相沉积
  • 1篇薄膜生长
  • 1篇SUB
  • 1篇MONTE_...
  • 1篇MORSE势
  • 1篇N

机构

  • 3篇北京工业大学
  • 2篇北京理工大学

作者

  • 3篇陈光华
  • 3篇杨宁
  • 2篇朱鹤孙
  • 1篇张阳
  • 1篇张阳

传媒

  • 2篇人工晶体学报
  • 1篇物理学报

年份

  • 3篇2000
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
结晶β-C<sub>3</sub>N<sub>4</sub>薄膜的制备和特性研究（英文）
2000年
用电子回旋共振等离子体化学汽相沉积 (ECRCVD)法 ,在单晶硅 (10 0 )衬底上沉积生长出了具有 { 2 2 1}结构特性的连续的结晶态 β C3N4 薄膜。使用扫描电镜 (SEM)观测了沉积薄膜的形态 ;采用X射线光电子光谱 (XPS) ,X射线衍射 (XRD)和拉曼散射表征薄膜的结构。研究表明 ,沉积结晶态 β C3N4 薄膜具有 { 2 2 1}结构特性。
陈光华张阳朱鹤孙杨宁
关键词：化学汽相沉积
全文增补中
结晶β-C_3N_4薄膜的制备和特性研究(英文)
2000年
用电子回旋共振等离子体化学汽相沉积 (ECRCVD)法 ,在单晶硅 (10 0 )衬底上沉积生长出了具有 { 2 2 1}结构特性的连续的结晶态 β C3N4 薄膜。使用扫描电镜 (SEM)观测了沉积薄膜的形态 ;采用X射线光电子光谱 (XPS) ,X射线衍射 (XRD)和拉曼散射表征薄膜的结构。研究表明 ,沉积结晶态 β C3N4 薄膜具有 { 2 2 1}结构特性。
陈光华张阳朱鹤孙杨宁
关键词：氮化碳薄膜
薄膜生长的理论模型与Monte Carlo模拟被引量：30
2000年
用MonteCarlo方法模拟了薄膜的二维生长 .引入Morse作用势描述粒子间的相互作用情况 ,研究了相互作用范围α对薄膜生长初期形貌的影响 .薄膜的生长经历了由临界核的形成、团的长大、形成迷津结构到连续成膜 4个阶段 .模拟结果表明 ,随着沉积粒子数的增加 ,成团粒子所占百分比下降 .这与实际情况相符 .
杨宁陈光华张阳公维宾朱鹤孙
关键词：薄膜生长MORSE势蒙特卡罗模拟
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共1页<1>
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