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国家科技支撑计划(无)

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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇原子光刻
  • 1篇光刻
  • 1篇AFM
  • 1篇测试分析

机构

  • 1篇同济大学
  • 1篇浙江省计量科...

作者

  • 1篇汪黎栋
  • 1篇茅振华
  • 1篇李同保
  • 1篇尚贤平

传媒

  • 1篇计量技术

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于NMM的AFM测试分析原子光刻纳米光栅样板
2012年
利用激光汇聚中性铬原子沉积出一维纳米光栅样板的基础上，基于NMM的AFM测量系统对样板进行了测试分析和测试方法研究，得到一维纳米光栅结构平均节距为212．64±0．4nm，与^（52）Cr原子共振跃迁（^7S3→^7P（4^0）的半波长（λ／2）理论值212．8nm基本一致，测试结果非常准确。文章还介绍利用NMM测量机的大范围扫描测试距离，解决了光栅样板的测试区域快速定位的问题，对研究纳米级精度测量有实用价值及参考意义。
汪黎栋李同保尚贤平茅振华
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