上海市教育委员会创新基金(09YZ23)
- 作品数：3 被引量：5H指数：1
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- 相关机构：上海大学中科院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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- 相关领域：理学更多>>
- 溅射压强对Sc掺杂ZnO薄膜绒面结构的影响
- 2014年
- 采用射频磁控溅射方法,分别在0.5Pa,1.0Pa,1.5Pa以及2.0Pa的溅射压强下制备出了Sc:ZnO(SZO)薄膜,并用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外可见光分光光度计等设备对样品的晶体结构、表面形貌及光学性质进行了表征。结果表明,当溅射压强为1.5Pa时,SZO薄膜沿平行于衬底的(100)方向择优生长,形成了织构化的表面形貌,陷光效果增强,可见光透过率达到87%,同时其光散射能力也有了显著提高。
- 宋晨辰赵占霞马忠权赵磊孟凡英
- 关键词：溅射压强光学性质
- 沉积压强对Sc掺杂ZnO薄膜性能的影响被引量：5
- 2010年
- 利用射频磁控溅射方法,采用Sc2O3掺杂(质量百分比2%)ZnO为靶材在石英玻璃上制备透明导电ZnO:Sc(SZO)薄膜。用X射线衍射仪、分光光度计及霍尔测试仪等对样品进行表征,分析了沉积压强从0.3Pa到2.0Pa的变化对SZO薄膜的微结构及光学特性的影响。XRD研究结果表明所有样品都是六角密堆积结构,而且溅射压强对SZO薄膜的微结构有着显著的影响。所有SZO薄膜的透过率在可见光区域均大于85%,近紫外区域由于吸收,透射率大大降低。
- 缪存星赵占霞栗敏徐飞马忠权
- 关键词：射频磁控溅射溅射压强透明导电氧化物
- 太阳电池窗口层材料Sc掺杂ZnO薄膜的抗腐蚀性研究被引量：1
- 2011年
- 用于太阳电池窗口层的材料必须具有好的耐蚀性。利用射频磁控溅射的方法分别在300℃、350℃、400℃、450℃的沉积温度下制备透明导电Sc掺杂ZnO薄膜(SZO)。用X射线衍射仪对样品的结构进行表征。结果表明,所有SZO薄膜均为六角纤锌矿结构,在(002)衍射峰位上相对于纯ZnO粉末有微小的偏移。用动电位扫描极化曲线和交流阻抗谱表征SZO薄膜的耐腐蚀性能,研究结果表明随沉积温度的升高,SZO薄膜的耐腐蚀性增强。在可见光范围内SZO薄膜透过率达85%以上,经3.5%的NaCl溶液腐蚀24 h后薄膜透过率仍在80%以上。
- 马晓敏赵占霞宋晨辰赵磊马忠权
- 关键词：太阳电池抗腐蚀性能透过率
