上海市青年科技启明星计划(08QH14023)
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- 355nm ZrO_2凝胶色分离光栅的设计和衍射效率测量
- 2010年
- 基于光敏凝胶法二元光学元件制作工艺,设计制作了ZrO2介质色分离光栅。使用白光干涉仪和椭圆偏振光谱仪分别测试了光栅的几何结构参数和折射率;编制程序计算了光栅的理论衍射效率;搭建光路实测了光栅在设计波长的分频效果,并与理论值进行了对比分析。结果显示,对波长为355nm的激光,光栅的零级效率接近70%,而对1064nm和532nm的激光,其残留约13%,理论计算值与实测结果符合较好。
- 周昌鹤周斌刘春泽沈军吴广明张志华
- 关键词：衍射效率ZRO2溶胶-凝胶
- 色分离光栅的溶胶凝胶化学法制备工艺
- 2010年
- 以锆酸丁酯为源,通过溶胶凝胶法制备了一种光敏ZrO2溶胶,在熔石英表面通过提拉法镀制具有负性光刻胶性质的光敏凝胶薄膜。在此基础上,设计色分离光栅(CSG)的结构,通过二次曝光、显影过程,制备了具有三台阶结构的CSG。对光栅形貌进行表征,周期为210μm,单台阶高度约为500nm,光栅面积为30mm×30mm。采用Nd:YAG激光器对衍射效率进行了测量,测得CSG对355nm激光衍射效率达到约88.4%,1064nm及532nm激光的衍射效率分别为5.7%和4.2%。
- 刘春泽周斌周昌鹤杜艾沈军
- 关键词：衍射效率光敏
