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河南省自然科学基金(82300443203)

作品数:7 被引量:8H指数:3
相关作者:卢景霄谷锦华丁艳丽朱志立杨仕娥更多>>
相关机构:郑州大学更多>>
发文基金:河南省自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:理学电子电信一般工业技术更多>>

文献类型

  • 7篇中文期刊文章

领域

  • 6篇理学
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 6篇微晶硅
  • 6篇微晶硅薄膜
  • 6篇硅薄膜
  • 3篇面粗糙度
  • 3篇标度
  • 3篇标度行为
  • 3篇表面粗糙度
  • 3篇粗糙度
  • 2篇晶化率
  • 2篇沉积速率
  • 1篇等离子体
  • 1篇第一性原理
  • 1篇原子
  • 1篇圆偏振
  • 1篇偏振
  • 1篇自发磁化
  • 1篇椭圆偏振
  • 1篇微结构
  • 1篇蒙特卡洛模拟
  • 1篇薄膜生长

机构

  • 5篇郑州大学

作者

  • 5篇谷锦华
  • 5篇卢景霄
  • 4篇丁艳丽
  • 4篇杨仕娥
  • 4篇朱志立
  • 3篇陈永生
  • 3篇郜小勇
  • 1篇史新伟
  • 1篇王志永
  • 1篇王志勇
  • 1篇申陈海

传媒

  • 2篇物理学报
  • 2篇真空
  • 1篇Chines...
  • 1篇Acta M...
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 4篇2010
  • 3篇2009
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
First principle study on the possibilities of magnetism in one-dimensional In and Tl atomic wires with the full-potential linearized augmented plane wave method
2009年
Using ab initio total energy calculations with the full-potential linearized augmented plane wave method,the possibilities of magnetism in one-dimensional In and Tl wires were explored and their properties as the function of geometric structures were studied.The results suggest that the linear In and Tl wires show magnetization at the equilibrium bond distance with magnetic moments of 0.71 and 0.67 μB/atom,respectively.Allowing ions to relax,the wires were deformed as zigzag structures,but no dimerization occurs.The zigzag wires also exhibit spontaneous magnetization,although the magnetic moments are lower than those of straight wires.
Zhili ZHU Jinhua GU Yu JIA Xing HU
关键词:第一性原理原子自发磁化
椭圆偏振技术研究VHF-PECVD高速沉积微晶硅薄膜的异常标度行为被引量:3
2009年
采用VHF-PECVD技术高速沉积了不同生长阶段的微晶硅薄膜,通过椭圆偏振技术研究了生长过程中微晶硅薄膜表面粗糙度的演化.实验结果表明,沉积气压Pg=300Pa时,β=0.81,其超出标度理论中β最大值为0.5范围,出现异常标度行为.这表明微晶硅薄膜高速生长中还存在其他粗糙化增加的因素,此粗糙化增加的因素与阴影作用有关.
谷锦华丁艳丽杨仕娥郜小勇陈永生卢景霄
关键词:微晶硅薄膜表面粗糙度
不同沉积速率微晶硅薄膜生长模式的蒙特卡洛模拟研究被引量:3
2010年
采用标度理论比较了不同速率下微晶硅薄膜的生长模式。结果是:低速时薄膜的生长指数为0.19,高速时薄膜的生长指数为0.61,两者生长机理明显不同。通过蒙特卡洛模拟薄膜生长过程,结果表明:生长基元的粘附系数和扩散能力对不同生长速率下薄膜的生长有较大的影响。
王志永朱志立谷锦华丁艳丽卢景霄
关键词:蒙特卡洛模拟微晶硅薄膜
Deposition pressure effect on the surface roughness scaling of microcrystalline silicon films
2010年
The scaling behaviour of surface roughness evolution of microcrystalline silicon (μc-Si:H) films prepared by veryhigh frequency plasma-enhanced chemical vapour deposition (VHF-PECVD) has been investigated by using a spectroscopic ellipsometry (SE) technique. The growth exponent β was analysed for the films deposited under different pressures Pg . The results suggest that films deposited at Pg = 70 Pa have a growth exponent β about 0.22, which corresponds to the definite diffusion growth. However, abnormal scaling behaviour occurs in the films deposited at Pg = 300 Pa. The exponent β is about 0.81 that is much larger than 0.5 of zero diffusion limit in the scaling theory. The growth mode of μc-Si:H deposited at Pg = 300 Pa is clearly different from that of μc-Si:H at Pg = 70 Pa. Monte Carlo simulations indicate that the sticking process and the surface diffusion of the radicals are two key factors to affect the growth mode under different pressures. Under Pg = 300 Pa, β>0.5 is correlated with the strong shadowing effect resulting from the larger sticking coefficient.
朱志立丁艳丽王志永谷锦华卢景霄
关键词:微晶硅薄膜标度行为
沉积速率对甚高频等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅薄膜生长标度行为的影响被引量:3
2010年
本文采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了沉积速率系列不同生长阶段的微晶硅薄膜,通过椭圆偏振技术研究了生长过程中微晶硅薄膜表面粗糙度的演化.实验结果表明:沉积速率为0.08和0.24nm/s的低速沉积时,硅薄膜表面粗糙度接近,生长指数分别为β=0.21和β=0.20,对应有限扩散生长模式,此时沉积速率对硅薄膜生长影响不大,原因是低速沉积时成膜先驱物有足够时间迁移到能量低的位置;当沉积速率增加到0.66nm/s时,硅薄膜表面粗糙度明显增加,生长指数β=0.81,大于0.5,出现了异常标度行为,与低速沉积的生长模式明显不同,原因是高速沉积时成膜前驱物来不及扩散就被下一层前驱物覆盖,降低了成膜前驱物在薄膜表面的扩散,使表面粗糙度增加和生长指数β增大.β大于0.5的异常标度行为与阴影效应有关.
丁艳丽朱志立谷锦华史新伟杨仕娥郜小勇陈永生卢景霄
关键词:微晶硅薄膜表面粗糙度
衬底H等离子体预处理时间对微晶硅薄膜生长的影响
2009年
本文采用VHF-PECVD技术制备了系列硅薄膜,通过椭圆偏振技术及拉曼测试手段研究了衬底表面预处理时间对微晶硅薄膜的微结构及其生长的影响。实验结果表明:随衬底预处理时间(0~10min)的延长,薄膜的晶化率从14%提高到44%;薄膜表面的硅团簇尺寸减小,在衬底预处理10min时,薄膜表面的粗糙度较小。在衬底未预处理与预处理10min时,在相同的沉积参数下,沉积两系列不同生长阶段硅薄膜的生长指数接近。原因是H等离子体预处理使衬底表面的原子氢增多,有利于成膜先驱物在衬底表面的迁移,影响薄膜的初期成核,使薄膜易于晶化。
丁艳丽朱志立谷锦华王志勇申陈海杨仕娥卢景霄
关键词:微晶硅薄膜晶化率表面粗糙度
椭偏光谱法研究不同硅烷浓度制备微晶硅薄膜的微结构和生长机制
2010年
本文采用VHF-PECVD技术制备了两个不同硅烷浓度(SC)系列的微晶硅薄膜,通过椭圆偏振技术研究了微晶硅薄膜的微结构和表面粗糙度随沉积时间的变化。实验结果表明:随着薄膜厚度的增加,两个系列硅薄膜的晶化度增加,当薄膜增加到一定厚度时内部开始出现微空洞,这是由于随着薄膜厚度的增加,薄膜晶化度增加,晶粒增大,大晶粒边界之间更容易形成空洞。硅薄膜的表面粗糙层厚度ds与薄膜厚度d满足指数关系:ds^dβ,β为生长指数,与薄膜生长机制有关,当硅烷浓度SC为4%时,β=0.33,对应有限扩散生长模式。硅烷浓度SC为5%时,β=0.52,对应为零扩散随机生长模式。硅烷浓度降低,生长指数β减小,这是由于随着硅烷浓度的降低,氢原子浓度增加,薄膜表面氢覆盖扩大,从而有利于反应前驱物的扩散,因此薄膜表面更为光滑,生长指数β减小。
谷锦华朱志立杨仕娥郜小勇陈永生卢景霄
关键词:微晶硅晶化率
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