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沈阳市科学技术计划项目(1071196-1-00)

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相关作者：巴德纯吕少波蔺增更多>>
相关机构：东北大学延世大学更多>>
发文基金：沈阳市科学技术计划项目辽宁省自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体鞘层
  • 1篇射频等离子体
  • 1篇鞘层
  • 1篇流体动力学
  • 1篇流体动力学模...

机构

  • 1篇东北大学
  • 1篇延世大学

作者

  • 1篇蔺增
  • 1篇吕少波
  • 1篇巴德纯

传媒

  • 1篇东北大学学报...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
射频负偏压等离子体鞘层流体动力学模拟
2008年
采用流体动力学方法建立了一种自洽的无碰撞射频直流偏压等离子体鞘层动力学模型.模型中考虑了极板直流负偏压对离子运动的影响,模拟了在不同偏压条件下射频等离子体鞘层内各参量的时空演化特性.在该模型中,认为鞘层厚度是与时间有关的函数,并采用等效电路模型建立了鞘层瞬时厚度与鞘层电位降的关系.模拟结果表明,极板上电势呈非正弦周期性变化;鞘层厚度变化与极板电势变化周期相同,趋势相反,且略滞后于射频周期.
吕少波蔺增巴德纯李麟涉
关键词：射频等离子体鞘层流体动力学模型
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