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真空管道自体溅射镀TiN膜研究: 本文详细介绍了长真空管道内表面直流溅射镀TiN膜技术和成膜系统配置。首先提出真空管道自体真空镀膜新概念,采用特殊的阴极靶结构设计成功的解决了长管道内表面直流溅射镀膜的难题。在真空管道内壁获得了均匀的、高品质的TiN膜层,...; 王勇尉伟张耀锋王建平范乐赵飞云; 关键词：TIN膜辉光放电; 文献传递

不锈钢材料及TiN镀膜处理后PSD测试实验研究: PSD性能是评价电子储存环真空室材料及材料表面处理优劣的一个重要指标.对一约1.5m长不锈钢管道真空室进行了镀TiN薄膜处理,并在合肥光源机器研究用光束线(MSB)的PSD实验站上对该真空室在镀TiN薄膜处理前后分别进行...; 张耀锋王勇尉伟王建平范乐管长应刘祖平; 关键词：不锈钢材料 TIN薄膜表面处理; 文献传递

不锈钢管道溅射镀TiN薄膜实验研究被引量：4: 2007年; 在不锈钢管道溅射镀膜装置上，通过对不锈钢管道真空室进行溅射镀TiN膜的反复多次实验及对镀膜实验结果的分析，得到了一整套适用于加速器管道真空室内壁溅射镀TiN膜的表面处理参数．实验结果表明，在压强为80～90Pa、基体温度为160～180℃的镀膜参数下，不锈钢管道内壁能获得符合加速器物理要求的TiN薄膜．; 王勇张耀锋尉伟王建平范乐蒋道满朱存宝刘祖平; 关键词：TIN膜表面处理

Photon Stimulated Desorption Studies on Stainless Steel Material with and without TiN Film Coating: 2008年; PSD yield is a key criterion to evaluate the vacuum chamber material and its surface pretreatment in an electron storage ring.In this paper,a stainless steel vacuum chamber of 1500 mm in diameter has been tested before and after TiN film coating on PSD experiment station of Machine Study Beamline of NSRL.Test results show that TiN film coating is an effective method to reduce photon stimulated desorption for the stainless steel material.; 张耀锋王勇尉伟王建平范乐管长应刘祖平

不锈钢管道内壁镀TiN薄膜技术及其真空性能的研究被引量：6: 2006年; 介绍了对不锈钢管道大面积内壁用直流溅射方法镀TiN薄膜的技术及工艺,并分析了薄膜的相关参数,测试了镀膜管道的真空性能。结果表明,该方法能够快速、高效地在管道内壁镀上高质量的TiN薄膜,且镀膜后真空室表面的放气率明显低于原不锈钢材料的放气率。; 张耀锋王勇尉伟王建平范乐蒋道满; 关键词：TIN薄膜放气率

不锈钢管道低温溅射镀TiN薄膜技术被引量：4: 2007年; 设计了一套适用于加速器细长管道真空室的低温溅射镀TiN薄膜装置。利用该装置，对Ф86mm×2000mm的不锈钢管道真空室进行溅射镀TiN膜实验，并对镀膜实验结果进行分析，得到了适用于加速器管道真空室内壁溅射镀TiN膜的表面处理参数。样品测试结果表明：在压强为80～90Pa、基体温度为160～180℃的镀膜参数下，不锈钢管道内壁获得的TiN薄膜最佳，薄膜沉积速率为0．145nm／s。镀膜后真空室的二次电子产额明显降低。; 张耀锋王勇尉伟王建平范乐蒋道满朱存宝刘祖平; 关键词：TIN膜加速器

真空管道自体溅射镀TiN膜研究被引量：1: 2006年; 本文详细介绍了长真空管道内表面直流溅射镀TiN膜技术和成膜系统配置。采用真空管道自体真空镀膜方法解决细长管道内表面镀膜问题,特殊的阴极靶结构设计成功地解决了长管道内表面直流溅射镀膜的问题。本实验方法在真空管道内壁获得了均匀的、高品质的TiN膜层,并实现了细长真空管道大面积镀膜过程的稳定性、重复性和一致性。真空管道自体直流溅射镀膜实验中采用的工作原理以及设备简单,操作方便,成本低廉。; 王勇尉伟张耀锋王建平范乐耿会平赵飞云; 关键词：TIN膜辉光放电

真空管道TiN膜热出气率实验研究: 本文简要叙述了小孔流量法测量材料出气率实验的原理和实验装置,给出了不锈钢溅射镀 TiN膜在不同情况下的热出气率,并对影响不锈钢溅射镀TiN膜热出气率情况的各种因素进行了分析,为使用溅射镀TiN膜表面处理的储存环真空室的设...; 王勇张耀锋尉伟范乐王建平耿会平; 关键词：TIN膜真空材料表面处理; 文献传递

真空管道TiN膜热出气率实验研究被引量：4: 2007年; 简要叙述了小孔流量法测量材料出气率实验的原理和实验装置,给出了不锈钢溅射镀TiN膜在不同情况下的热出气率,并对影响不锈钢溅射镀TiN膜热出气率情况的各种因素进行了分析,为使用溅射镀TiN膜表面处理的储存环真空室的设计提供了依据。; 王勇张耀锋尉伟范乐王建平耿会平; 关键词：TIN膜真空材料表面处理

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国家自然科学基金(10245002)