国家质检总局科技计划项目(2011QK099)
- 作品数：4 被引量：6H指数：2
- 相关作者：刘芳芳金丹李艳敏李孟超张大伟更多>>
- 相关机构：上海市计量测试技术研究院上海理工大学更多>>
- 发文基金：国家质检总局科技计划项目国家自然科学基金上海市质量技术监督局科技项目更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 基于SPR的类铬型金属膜厚在线纳米测量研究被引量：3
- 2012年
- 当具有足够大发散角的柱面光照射在匀厚金属薄膜表面时,由表面等离子体振荡产生的光反射率角分布是膜厚的函数,用CCD接收反射光分布信息并经过计算机分析处理,可实时、在线测量10nm内的铬、钛等金属膜厚,这类金属的复介电常数的实部相对虚部是较小的负数,故具有强反射锐峰及较平坦的吸收峰,该两峰点可作为膜厚测量依据的特征标记点,并通过建库进行曲线匹配而获得膜厚数值。实验结果表明,该方法的平均测量误差可低于0.4nm。
- 李艳敏李孟超刘芳芳金丹张大伟庄松林
- 关键词：应用光学膜厚
- 一种无损检测标准伤痕试样的校准方法被引量：2
- 2012年
- 本文提出一种基于光切原理的新测量方法，可高精度地测量深窄槽型的表面伤痕的深度。该方法将光切图像用于瞄准，并用三坐标测量机作为测量的标准器，通过两次调焦瞄准的方法测量深度尺寸，可将深度测量范围提高至10mm，测量不确定度在10μm以内，有效地解决了高精度标准表面伤痕试块的校准问题。
- 刘芳芳傅云霞曾燕华祝逸庆
- 关键词：光切法非接触测量
- 基于SPR的多层金属膜厚在线纳米测量被引量：1
- 2012年
- 通过对于首层金属膜的SPR反射光强曲线的分析利用两峰值点标记角度,同时用柱面光与CCD测量系统建立无机械测角转台的反射光强角度分布测量系统。根据CCD接收的光强与位置对应信息经计算机处理换算为光强角度分布曲线,并通过与库内的曲线数据进行匹配而获得膜厚数值。利用该系统对铬钛银铝等常用金属薄膜进行了在线测控研究,得到了纳米级金属薄膜的膜层蒸镀顺序与相应的膜厚测量范围。
- 李艳敏李孟超刘芳芳金丹张大伟庄松林
- 光切式标准伤痕深度检测装置的研制
- 2015年
- 目的:高精度无损探伤仪器需要通过标准伤痕试块实现量值溯源,由于缺乏专门的仪器,深窄槽形伤痕的深度测量是一大难点。为了解决这一难点,基于光切原理,研制了一台非接触式的标准伤痕深度检测装置。方法:将光切图像用于瞄准,采用两次调焦及两次瞄准的方法测量槽深,同时通过自编软件可实现光带与基准线之间瞄准的自动判断。利用高精度长度计作为深度测量标准器,通过机械设计和装校使深度测量符合阿贝原则,提高测量精度。结果:装置的深度测量范围可达10 mm,测量不确定度可达U=1.5μm(k=2)。结论:该装置的研制有效解决了高精度无损伤痕探测仪的量值溯源问题。经过适当地改进还可拓展到大型零部件的表面伤痕检测,填补大型零部件伤痕现场定量标定的空白。
- 刘芳芳傅云霞曾燕华
- 关键词：非接触测量
