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国家教育部博士点基金(007033501)

作品数：1 被引量：2H指数：1
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发文基金：浙江省自然科学基金杰出青年团队项目国家教育部博士点基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇电致发光
  • 1篇异质结
  • 1篇热氧化
  • 1篇溅射
  • 1篇发光
  • 1篇SI
  • 1篇TIO_2薄...

机构

  • 1篇浙江大学

作者

  • 1篇杨德仁
  • 1篇金璐
  • 1篇张安邦
  • 1篇马向阳

传媒

  • 1篇发光学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
溅射的Ti薄膜热氧化形成的TiO_2薄膜与p^+-Si形成的异质结的电致发光被引量：2
2011年
利阿太磁控溅射法以不同条件在重掺硼硅片(p^+-Si)上制备Ti薄膜,经过一定条件下的热氧化转化为TiO_2薄膜,从而形成TiO_2/p^+ -Si异质结。研究表明:要使TiO_2/p^+ -Si异质结产生显著的电致发光,其中的TiO_2薄膜必须呈现单一的锐钛矿相,这就要求在较低的功率下溅射获得晶粒尺寸较小的Ti薄膜。此外,TiO_2的薄膜厚度需要控制在合理的范围。文中对上述结果的物理机制进行了探讨。
张安邦马向阳金璐杨德仁
关键词：异质结电致发光
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