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用于硅片清洗高浓度臭氧水产生设备研制被引量：1: 2015年; 由于高浓度臭氧水的氧化电位高达2.07 V、反应速率常数高达2.2×106 L/(mol·s),因而臭氧水具有无选择性快速(几秒钟)氧化分解有机污染;并能在几分钟时间内完成硅片清洗、光刻、刻蚀和成膜。采用强电场电离放电把氧离解成高浓度O3,再用强激励溶解方法把高浓度臭氧溶解于水中形成高浓度臭氧水,臭氧水浓度达到34.2 mg/L,满足了硅片清洗所要求的浓度≥30 mg/L。分别阐述了强电离放电规模制取高浓度臭氧水溶液方法;强激励溶解高浓度臭氧的理论基础;形成臭氧水溶液的工艺系统及其应用举例。; 白敏菂; 关键词：强电离放电

利用活性氧分子消除污水中的COD被引量：1: 2016年; 采用强电场电离放电制取高浓度的活性氧分子O_2^+和O_3,这些活性氧分子与污水中水反应生成羟基自由基OH,可快速把污水中COD降解成无害的CO_2、H_2O,污水中COD浓度从132 mg/L降至22.6mg/L,COD的去除率达到82.9%,达到回用水质量标准(≤50 mg/L),该方法有助于解决目前污水回用存在的问题。; 白敏菂毛首蕾李超群周建纲; 关键词：COD 去除率强电离放电

高浓度臭氧超净水制备及在硅片清洗中的应用被引量：1: 2015年; 利用自主研发强电离放电的臭氧超净水产生系统,采用强电场电离放电把氧激发、电离,电离离解成O,O-,O+,O(1D)和O2(a1Δg)等活性粒子,它们进一步反应形成高浓度气态O3,再用强激励方法把气态O3高效率溶于超净水中形成高浓度臭氧超净水。实验结果表明,当强电离放电电场强度为96 k V/cm,放电功率为800 W,形成高浓度臭氧超净水反应时间为30 min时,臭氧超净水质量浓度达到34.2 mg/L,去除Fe,Cu和Al颗粒物效率达到90%以上,满足硅片清洗的要求,为硅片清洗提供了一种形成高浓度臭氧超净水新方法。; 白敏菂; 关键词：强电离放电臭氧硅片

O2＋、O3同时脱硫脱硝实验被引量：10: 2014年; 针对目前的烟气同时脱硫脱硝方法中存在的投资成本、运行费用、占地面积大等问题,研究强电离放电方法产生高浓度氧活性粒子(O2+、O3)注入烟气外排管道中,进行O2+、O3消除烟气中的NO,SO2转化成HNO3,H2SO4的等离子化学反应.描述强电离介质阻挡放电制取O2+、O3原理和烟道中O2+与H2O反应形成·OH及其氧化脱硫脱硝反应机制,分析回收酸液中的酸根离子种类及浓度.在O2+、O3与NO+SO2的物质的量比为5,烟气温度为65℃,H2O体积浓度为10%,停留时间为1s的实验条件下,脱硝脱硫率分别为97.4%,83.2%.; 白敏菂毛首蕾朱玉鹏李超群; 关键词：脱硫脱硝

窄间隙介质阻挡放电清除硅片表面颗粒污染物被引量：2: 2020年; 硅片清洗技术已成为制备高技术电子产品的关键技术。采用窄间隙介质阻挡放电方法研制了低温氧等离子体源,把氧离解、电离、离解电离成O、O-、O+和O2(a1Δg)等低温氧等离子体,其中O-和O2(a1Δg)活性粒子进一步反应形成高质量浓度臭氧气体,再溶于酸性超净水中,用于去除硅片表面颗粒污染物。实验结果表明:当等离子体源输入功率为300 W时,臭氧气体质量浓度最高为316 mg/L;高质量浓度臭氧气体溶于pH值为3.8的超净水中形成臭氧超净水,质量浓度为62.4 mg/L;在硅片清洗槽内,高质量浓度臭氧超净水仅用30 s就可去除硅片表面的Cu、Fe、Ca、Ni和Ti等金属颗粒物,去除率分别为98.4%、95.2%、88.4%、85.2%和64.1%。本方法与目前普遍使用的RCA清洗法相比,具有无需大剂量化学试剂和多种液体化学品、清洗工艺简单、投资及运行成本低等优势。因此,窄间隙介质阻挡放电清洗硅片表面颗粒污染物技术具有广阔的市场应用前景。; 何叶袁慧冷白羽杨波白敏菂; 关键词：颗粒污染物

注入电功率密度、电离能密度及气体速度参量对离子输运率的影响: 2014年; 为提高大气压非平衡等离子体源的输运项,利用电离连续性方程及带电粒子运动方程分析了离子在电离电场中的受力及其运动规律。对电晕放电点的流光、辉光放电区域内注入电功率密度、电离能密度与气体速度对离子输运项的影响进行了理论研究,并在此基础上进行了实验。研究结果表明:在电晕放电点的流光、辉光放电区域内,注入功率密度、电离能密度等参量对离子输运项的影响程度仅在1个数量级内;当电离能密度为0.4 mJ/cm3时,提高气体速度从1.5 m/s提高到25 m/s,则离子输运项从5.4×108 cm-3·s-1增加到了8×1010 cm-3·s-1,气体速度比电离能密度对输运项的影响程度高出2个数量级左右。可见,提高气体运动速度是解决目前等离子体设备存在问题的一种可行、有效的方法。; 白敏菂周建刚毛首蕾李超群; 关键词：电晕放电电场强度

强电离放电氧活性粒子降解油田废水中难降解COD方法研究被引量：1: 2016年; 为解决油田废水经初级处理后废水中存有难降解有机污染物无法达到回用水标准的问题,采用强电场电离放电制取高含量氧活性粒子,再将其注入装有油田废水的量筒反应器中,以氧活性粒子降解废水中难降解有机污染物。结果表明,反应15 min后,废水中COD从136 mg/L降至31 mg/L,COD去除率达到77.2%,深度处理后油田废水达到GB/T 19923-2005回用水标准(COD≤50 mg/L)。为降解油田废水中难降解有机污染物并回用提供了1种新方法。; 崔志琦冷白羽徐海宁毛首蕾白敏菂; 关键词：油田废水难降解有机污染物强电离放电

氧活性粒子氧化NO生成HNO_3: 2014年; 采用强电离介质阻挡放电方法制取高浓度氧活性粒子(O+2、O3)并注入气体外排烟道中,实现O+2、O3氧化NO转化成资源酸(HNO3)的等离子化学反应。描述强电离放电的氧活性粒子产生器,讨论烟道中O+2、O3氧化NO成HNO3等离子体反应机制,分析回收酸液的NO-2、NO-3离子种类及浓度。考察强电离放电等离子体源的输入功率、水体积百分比、气体温度、气体流速对NOx氧化率的影响。氧化率为97.2%的最佳实验条件是:O+2浓度为1.38×1010个/cm3,O3浓度为210 mg/L,烟气温度为65℃,H2O体积浓度为5.6%,停留时间为0.94 s。; 白敏菂孙佳石李超群; 关键词：羟基自由基强电离放电

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国家自然科学基金(61371027)