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吉林省科技厅资助项目(20080335)
作品数:
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相关作者:
王勇
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芦鹏
李特
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2011
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自绝缘氧化限制型850nm垂直腔面发射激光器
2011年
介绍了一种制作氧化限制型垂直腔面发射激光器的新途径,自绝缘工艺。采用该工艺制作了氧化限制型850nm VCSELs。详细地介绍了自绝缘器件的工作原理和制作流程,并对侧氧化相关参数进行了实验研究。在此基础上,制备了不同出光孔径的850nm VCSELs器件,测得出光孔径12μm的器件最大输出功率达到10mW,微分量子效率达到43%。对不同出光孔径的器件输出特性进行了对比,并分析了产生输出特性差异的原因。
李特
郝二娟
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刘国军
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