国家自然科学基金(50075020)
- 作品数：17 被引量：93H指数：5
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- 自聚焦共焦探测系统轴向分辨率的影响因素被引量：1
- 2002年
- 从微小内尺度测量角度出发 ,研究了针孔尺寸、探测器位置、透镜的数值孔径、放大倍率和杂散光等对自聚焦共焦式探测系统轴向分辨率的影响。结果表明 ,为提高系统的轴向分辨率 ,需将有效针孔尺寸控制在≤ 2 .5 ;探测器需配以精密微调整装置以实现横向精确定位 ;选用差动共焦光路及大数值孔径和大放大倍率的自聚焦透镜 ,同时 ,偏振光路的使用将有效的提高系统的信噪比。
- 谭久彬张杰
- 关键词：自聚焦透镜非接触测量三维形貌测量
- 基于共焦原理的反射式自聚焦光纤传感技术研究被引量：8
- 2001年
- 基于共焦显微成象原理 ,提出了一种由自聚焦透镜和 X型光纤组成的高精度反射式自聚焦光纤传感器 .该传感器具有绝对位置跟踪的特殊能力 ,并有体积小、抗干扰性强、轴向分辨率高等特点 .由实验分析得 ,其轴向分辨率可达 3 0 nm.可用于表面微观形貌、外形尺寸。
- 张杰谭久彬
- 关键词：光纤传感器自聚焦透镜非接触测量纳米分辨率
- 自聚焦共焦光纤传感系统的相干传递函数
- 2002年
- 在弱物体近似下 ,运用傅立叶光学 ,从成像系统角度对自聚焦共焦传感技术进行了理论研究。着重分析了该技术测量样品纵深结构时图像的成像机理。由于光纤具有本征场的模式 ,对光的振幅和相位的响应是相干的 ,从而可用相干传递函数 (CTF)描述系统性能。结果表明 ,系统相当于一复振幅线平移不变系统 ,具有低通特性和层析特性。
- 谭久彬张杰
- 关键词：CTF光纤传感器自聚焦透镜
- 自聚焦共焦式微型探测系统的研究被引量：4
- 2002年
- 为解决微小内轮廓为代表的微小尺寸的非接触测量问题 ,本文提出了将自聚焦透镜体积小与共焦显微技术的纵向层析特性有机结合的自聚焦共焦微型显微技术的光聚焦探测系统。介绍了系统的工作原理和结构装置 ,对系统中的关键技术进行了优化设计 ,通过对自聚焦透镜、针孔、光源及探测器系统的设计 ,可以有效地实现高精度微型光聚焦探测。初步实验结果表明 ,系统的轴向分辨率可达 10
- 张杰谭久彬等
- 关键词：共焦显微镜自聚焦透镜高分辨率
- 基于两步法超精密圆度仪误差分离系统被引量：18
- 2000年
- 基于两步法误差分离原理的圆度仪误差分离系统 ,克服了传统的“多步法”分离过程中存在的“谐波抑制问题”,缩短了分离时间 ,有效地抑制了分离过程中引入的测量噪声及系统漂移的影响。该装置不仅可以使圆度仪主轴回转误差从被测工件测量结果中可靠分离 ,而且整个测量过程实现了全自动无人操作 。
- 赵维谦谭久彬杨文国张杰
- 关键词：圆度仪谐波抑制
- 基于激光三角法的挠性器件动态摆频测试系统被引量：3
- 2003年
- 系统采用位置敏感器(PSD)作为光电探测器来测量器件的振动信号,计算机依据PSD测得的挠性器件的振荡信号,对其进行谐波分析及频谱分析,从频谱图上获得该器件的摆动频率。该方法具有非接触、响应快、易于操作等特点。实验结果表明,其摆频的分辨率为0.01Hz,重复性可达0.03Hz。
- 邹丽敏杨文国金国良尹静谭久彬
- 关键词：激光三角法摆动频率测试系统
- 漂移量反馈控制式激光准直方法被引量：17
- 2004年
- 提出一种集光纤准直与光束漂移量反馈控制准直技术于一体的激光光束准直方法 ,它是在单模光纤对激光器出射光束漂移量进行初级准直的基础上 ,进一步对光束的漂移量进行反馈控制 ,进而提高出射光束的方向稳定性。准直系统中利用漂移量分离光路和光电检测系统对光束的平漂量和角漂量进行了分离检测 ,并各自构成相应的光束空间平漂量反馈控制系统和光束空间角漂量反馈控制系统 ,减小了平漂量和角漂量反馈控制中的相互耦合。引入单模光纤使激光器与光束漂移量反馈控制准直系统相隔离 ,减小了激光管热源温度变化等因素对准直系统的影响 ,同时还便于准直系统使用中的安装布置。上述方法的应用 ,提高了准直精度及准直效率。实验表明目前该方法准直精度可达 0 .7× 10 -7rad。
- 赵维谦谭久彬马洪文邹丽敏
- 关键词：物理光学激光准直光束漂移
- 微型反射式共焦光纤传感器研究被引量：2
- 2002年
- 基于光学系统信息传输不变性原理 ,讨论了微型反射式共焦光纤传感器的高分辨率性质。该传感器的光纤末端头起到了共焦扫描光学显微镜的点光源和点探测器的功能 ,从而使视场减小 ,信噪比提高 ,抗干扰性增强。它独特的高轴向分辨率特性 ,可用于微观形貌、外形尺寸和曲面轮廓等方面的高精度检测 。
- 张杰谭久彬
- 关键词：光纤传感器自聚焦透镜
- 自聚焦共焦光纤传感器轴向分辨率的影响因素被引量：5
- 2002年
- 分析和研究了光纤光斑尺寸、透镜的数值孔径、放大倍率、光纤与透镜的匹配及装配等对自聚焦共焦光纤传感轴向分辨率的影响。指出 ,为使系统获得较高的轴向分辨率 ,需控制与光纤光斑尺寸有关的参数 A≤ 3,选用大放大倍率的自聚焦透镜 ,并使透镜的数值孔径小于光纤数值孔径 。
- 张杰谭久彬
- 关键词：光纤传感器自聚焦透镜
- 自聚焦透镜的三维相干成像特性分析被引量：5
- 2002年
- 运用傅里叶光学方法,分析并推导了自聚焦透镜的三维相干成像公式。研究表明,虽然自聚焦透镜中介质折射率是径向渐变折射率分布,不同于薄透镜中的均匀分布,但是由于它的三维相干成像性质却类似于薄透镜,从而使自聚焦透镜可以在成像和光学信息处理系统中有效地代替薄透镜,实现光学系统的微型化。
- 谭久彬张杰
- 关键词：自聚焦透镜梯度折射率傅里叶光学
