国家自然科学基金(50801009)
- 作品数：1 被引量：4H指数：1
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- 相关机构：电子科技大学西安交通大学更多>>
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- 氮化镓纳米线的压电效应研究
- 本文提出了一种利用微机电系统(MEMS)和电子显微镜技术相结合,研究半导体纳米结构力、电学耦合特性的实验方法。氮化镓纳米线在一个分子束外延系统中制备。电子衍射分析表明此种方法合成的纳米线具有六边形Wurtzite结构和标...
- 彭倍吴凌华罗浩文徐文鸿Espinosa HORACIO
- 关键词：氮化镓纳米线微机电系统压电效应
- 文献传递
- MEMS节点化建模及其在集成微系统设计中的应用被引量：4
- 2010年
- 为实现MEMS产品的快速设计和性能验证,在借鉴其结构化设计思想即节点分析法的基础上,提出了一种与常规信号流类比不同,适于集成微机电系统快速仿真的等效电路建模思路和方法。首先,对系统及MEMS器件进行功能及结构分解;然后,分别对各基本单元进行节点化建模,并在一定的机电类比规则下将其转换为等效电网络(元件);最后,根据节点变量约束关系,将这些等效网络(元件)逐层重构为器件级和系统级等效电路。结合一类典型MEMS集成系统——梳齿式静电反馈微加速度计的分析实例,对上述方法进行了具体介绍和验证。利用OrCAD等电路仿真器分析、测试了所建立的体现多能域耦合关系的微系统数字化分析原型,结果显示,相对于VHDL-AMS描述法,该模型具有单一域内的更加直观的模型形式和快捷的仿真速度,表明本文提出的方法在复杂MEMS集成系统的分析设计中具有一定的应用价值。
- 王永泉陈花玲彭倍朱子才
- 关键词：系统级仿真VHDL-AMS等效电路
