国家高技术研究发展计划(2001AA320202)
- 作品数：21 被引量：188H指数：9
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- 相关领域：理学一般工业技术电子电信电气工程更多>>
- 硅掺杂和硅钒共掺杂对TiO_2光催化性能的影响被引量：36
- 2005年
- 采用溶胶凝胶法在玻璃表面制备了一定厚度(约120nm)的掺硅TiO2薄膜,在配制原始溶液时,所用钛酸四丁酯、正硅酸乙酯、乙醇、水和硝酸的摩尔比为1∶y∶25∶1∶0.2。用扫描电子显微镜观察其表面形貌,用X射线衍射表征其结构。以甲基橙溶液为体系,考察掺杂后TiO2薄膜的光催化性能。结果表明:当y≤0.3时,随硅掺入量的增加,TiO2薄膜的光催化性能提高;当y>0.3时,硅的掺入使TiO2薄膜的光催化性能降低。另外,用相同方法制备了钒硅共掺杂的TiO2薄膜,发现钒硅共掺杂可以进一步提高TiO2的光催化性能。
- 李红赵高凌刘琴华翁文剑杜丕一沈鸽韩高荣
- 关键词：溶胶-凝胶法二氧化钛薄膜光催化掺杂
- CVD法制备Sb掺杂SnO_2薄膜的结构与性能研究被引量：13
- 2005年
- 采用化学气相沉积法(CVD)制备了Sb掺杂SnO2薄膜(ATO),研究了Sb掺杂量对ATO薄膜结构和性能的影响.利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)等分析手段对所制得薄膜的结构、形貌、成分等进行了表征,XRD结果表明在基板温度为665℃时能够制得结晶性能较好的多晶薄膜,XPS分析确定掺杂后的Sb以Sb5+离子形式存在.讨论了Sb掺杂量对方块电阻、透射率和反射率等薄膜性质的影响,结果表明,当Sb掺杂量为2%时取得最小方块电阻为7.8Ω/□,在可见光区薄膜的透射率和反射率随着Sb掺杂量的增加呈下降趋势.最后探讨了Sb掺杂SnO2薄膜的显色特性,认为Sb5+离子的本征吸收是薄膜显色的主要原因.
- 谢莲革沃银花汪建勋沈鸽翁文剑刘起英韩高荣
- 关键词：掺杂量
- HF-PECVD法生长BN_(1-x)P_x薄膜
- 2005年
- 以光学石英片为衬底,采用热丝 等离子体辅助化学气相沉积方法(HF PECVD)沉积了BN1-xPx薄膜。通过 X 射线衍射(XRD)、X 射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜 ( SEM )、X 射线能谱(EDAX)、紫外 可见(UV VIS)等测试手段研究了薄膜的化学组成、结构以及 P元素掺杂量对 BN1-xPx 薄膜材料光学带隙的调制规律。结果表明所沉积薄膜为B、P、N组成的三元化合物,没有相偏析,定向生长,与石英衬底结合牢固。BN1-xPx 薄膜中随着磷元素相对含量的增加,其光学带隙相应窄化,即通过控制磷的掺杂量可以有效调整该薄膜材料的光学带隙。
- 徐世友张溪文韩高荣
- 关键词：磷掺杂光学带隙
- 溶剂对溶剂热合成CdS纳米晶体的形貌控制被引量：1
- 2004年
- 以溶剂热法在不同溶剂里的160℃下反应12 h制备不同形貌的CdS纳米晶粒,分别选用水(H2O)、二甲基甲酰胺(DMF)、乙醇胺(an)和乙二胺(en)为溶剂来控制纳米CdS的形貌和尺寸.对样品的结构和性能进行表征,重点分析了溶剂的物理性质和结构特征对CdS纳米粒子晶体结构、形貌和尺寸的影响,不同溶剂的作用机制不同,可通过选择合适的反应溶剂来控制纳米粒子的形貌和尺寸,以制备满足不同应用需要的纳米结构,尤其是性能独特的一维纳米结构.
- 王青青赵高凌韩高荣
- 关键词：溶剂热法
- 介质阻挡放电化学气相沉积法制备DLC薄膜研究被引量：8
- 2005年
- 采用介质阻挡化学气相沉积法(DBD CVD)在Si及石英衬底上、室温下成功的沉积出光滑、致密、均匀、膜基结合较好的类金刚石(DLC)薄膜,并考察了电源电压对类金刚石薄膜结构及性能的影响。拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见光谱(UV Vis)、高阻仪等测试及分析结果显示DBD CVD 法适于制备高质量硬质DLC薄膜。对DBD放电做了理论分析,结果与工艺研究的结论相符合。
- 张溪文徐世友韩高荣
- 关键词：DLC拉曼光谱
- 一种获得半导体薄膜光学参数的方法被引量：8
- 2005年
- 实现薄膜光学参数的简便测量对于薄膜的制备和应用具有重要意义。引入适用于半导体材料的Forouhi_Bloomer模型,用其表征薄膜折射率与色散的关系。考虑到粗糙度的影响,假设薄膜厚度服从正态分布,给出了模拟退火法与迭代法相结合、由可见光光谱测定薄膜光学参数的方法。作为尝试,以硅系薄膜为例进行了计算。结果表明,获得的厚度与用椭偏仪测量的结果较为吻合。该方法适用于研究和测量半导体薄膜的光学性能和膜厚,具有很高的实用价值。
- 刘涌宋晨路汪建勋韩高荣
- 关键词：半导体薄膜色散关系模拟退火法光学参数
- F掺杂SnO_2透明导电薄膜微结构及性能研究被引量：17
- 2004年
- 通过实验测量常压热分解CVD工艺制备的F掺杂SnO2薄膜的方块电阻、膜厚、形貌、微结构、中远红外反射率等性质,详细研究了基板温度对SnO2薄膜微结构的影响和微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系。研究发现,将基板温度从375℃提高到525℃以上,薄膜结晶程度大大提高,薄膜厚度从25nm提高到近300nm,方块电阻下降了两个数量级,中远红外的反射率达到了85%以上。
- 莫建良陈华曹涯雁刘起英汪建勋翁文剑韩高荣
- 关键词：CVD微结构
- 低镜面反射纳米硅镀膜玻璃制备及拉曼光谱表征
- 2004年
- 为解决"光污染"问题,我们采用化学气相沉积的方法及后退火工艺,制备了低镜面反射纳米硅镀膜玻璃.用拉曼谱对样品的微结构进行表征,并测量了薄膜的反射率.结果表明,退火样品由于表面氧化形成低折射率的氧化物,以及大晶粒增强了对可见光的散射,因而具有低的反射率.
- 刘涌肖瑛宋晨路韩高荣
- 关键词：拉曼谱镀膜玻璃
- AP-CVD法制备的二氧化钛薄膜结构及亲水性研究被引量：1
- 2004年
- 基于实现在线镀膜的目的,研究了以TiCl4为钛源,用AP-CVD法在玻璃基板上制备TiO2薄膜的工艺.利用扫描电子显微(SEM)技术和X射线衍射(XRD)技术,研究了不同基板反应温度下薄膜的表面形貌和晶体结构,分析了表面形貌和结构对亲水性的影响.结果表明通过改变反应温度可以控制锐钛矿和金红石的相对量,薄膜的亲水性和表面形貌、粗糙度有密切的关系.
- 刘鹏汪建勋翁文剑韩高荣
- 关键词：二氧化钛薄膜亲水性TICL4
- 溶剂热法制备SPAn包裹CdS纳米粒子及其性能被引量：2
- 2006年
- 采用溶剂热法,成功的制备了磺化聚苯胺(SPAn)包裹CdS纳米复合粒子。用TEM、XRD等手段对产物结构进行了表征,同时进行了UV-VIS以及电阻率的测试,研究其光学电学性能,并探讨了SPAn的浓度对产物的结构及光学、电学性能的影响。结果表明,SPAn/CdS纳米复合粒子具有优良的光学、电学性能。产物粒径分布均匀,随着SPAn用量的增加,复合粒子的粒径有减小的趋势,最小可达10nm左右;电导率则随着SPAn用量的增大而降低。
- 臧金鑫赵高凌邓海韩高荣
