陕西省科学技术研究发展计划项目(2010K09-01)
- 作品数：1 被引量：2H指数：1
- 相关作者：张洁李言李淑娟更多>>
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- 发文基金：陕西省科学技术研究发展计划项目国家自然科学基金陕西省教育厅科研计划项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- SiC单晶片研磨机理及材料去除率研究
- 随着电子工业的快速发展,对半导体材料的需求越来越大,对各种元器件的性能要求也越来越高。碳化硅(SiC)单晶作为理想的半导体材料,需求量日益增加,但其高强度、高硬度和高脆性,使其加工成高精度、高质量的元器件成为一大难题。研...
- 胡海明
- 关键词：研磨材料去除率试验验证
- 文献传递
- 金刚石线锯超声振动切割SiC锯切力的实验研究被引量：2
- 2012年
- 在建立金刚石线锯普通切割SiC各锯切参数与锯切力关系的基础上,研究了振动切割中各参数对锯切力的影响机理和锯丝磨损对SiC切割表面质量的影响,并采用单因素进行锯切参数对锯切力和SiC切割表面形貌的试验研究。结果表明:同等条件下,超声振动切割比普通锯切的平均主锯切力明显减小;相对于锯切速度和工件转速,工件进给速度对锯切力的影响更为明显;增大振幅直接扩大了介于工具-工件间的动态容屑空间,有利于排屑。正确选择锯切工艺参数尤其是进给速度和振幅,对锯切力和动态容屑空间的平衡至关重要。
- 张洁杨润李淑娟李言
- 关键词：金刚石线锯锯切力
