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国家自然科学基金(50471078)

作品数：2 被引量：10H指数：2
相关作者：王隆保刘实张文峰戎利建刘本良更多>>
相关机构：中国科学院金属研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学

主题

  • 2篇溅射
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇形貌
  • 1篇性能研究
  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇晶界
  • 1篇合金
  • 1篇TI
  • 1篇TI合金
  • 1篇钛

机构

  • 2篇中国科学院金...

作者

  • 2篇刘实
  • 2篇王隆保
  • 1篇戎利建
  • 1篇刘本良
  • 1篇张文峰

传媒

  • 2篇原子能科学技...

年份

  • 2篇2008
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
Ti及Ti合金中氦泡形貌的透射电镜研究被引量：4
2008年
利用磁控溅射方法在Ti、TiZr和TiMo合金膜中引入氦并进行热处理后，用透射电镜观察膜材中的氦泡。所观察到的氦泡可为多面体形或球体形，或多数为球形化的多面体形。在800℃热处理后的Ti和TiZr合金中均观察到规则的六边形和八边形氦泡，对应基体材料单晶平衡外形多面体的投影。720℃热处理40rain后，TiZr合金膜中的氦泡比同样温度热处理130min后的接近球形。在600～650℃热处理30～60min后．合金中的氦泡比纯Ti中的氦泡更接近球形，生长受到的阻碍更大。除热处理温度、时间和合金成分外，晶界和其他氦泡也会影响氦泡形貌。在三叉晶界处的氦泡比晶界处的氦泡圆滑。氦泡在与其他氦泡邻近的部分会变得圆滑，促使自身向对方运动，促进氦泡的合并、长大。
刘本良刘实王隆保
关键词：磁控溅射TI晶界
直流磁控溅射钛及钛合金薄膜的性能研究被引量：6
2008年
用直流磁控溅射的方法在Si及Mo基片上制取Ti及其Ti合金薄膜。研究了基片温度等镀膜工艺参数对薄膜性能的影响,并用XPS、XRD、SEM分析薄膜的化学组成和结构特征,对薄膜的生长模式进行分析。结果表明,合金的加入降低了晶粒尺寸;升高温度可增大薄膜晶粒尺寸,改善薄膜结合能力;合金膜的成分与靶材基本一致。
张文峰刘实王隆保戎利建
关键词：钛磁控溅射
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