国家自然科学基金(60906052)
- 作品数：3 被引量：6H指数：1
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- 表面等离子体无掩膜干涉光刻系统的数值分析(英文)被引量：5
- 2012年
- 表面等离子体激元具有近场增强效应,可以代替光子作为曝光源形成纳米级特征尺寸的图像.本文数值分析了棱镜辅助表面等离子体干涉系统的参量空间,并给出了计算原理和方法.结果表明,适当地选择高折射率棱镜、低银层厚度、入射波长和光刻胶折射率,可以获得高曝光度、高对比度的干涉图像.入射波长为431nm时,选择40nm厚的银层,曝光深度可达200nm,条纹周期为110nm.数值分析结果为实验的安排提供了理论支持.
- 董启明郭小伟
- 关键词：干涉光刻表面等离子体激元
- 周期性和孤立的纳米结构的超透镜亚波长成像(英文)
- 2015年
- 超透镜光刻技术是一种很有前景的纳米结构成像技术,由于其具有可以克服衍射极限的能力,直到2005年,张翔和他的同事在365nm紫外线波长下成功的对一排纳米线和刻在高分子膜上的四个字母"NANO"实现了超分辨成像,分辨率高达1/6入射波长。通过传递矩阵方法优化出超透镜结构,并通过选择适当的材料和设计在超透镜结构中的每个层的厚度以及合理的优化实验等方法制备一个新的超透镜结构,利用这种超透镜结构实现了周期性纳米结构及孤立纳米结构的亚波长成像。实验结果表明,对于周期性的纳米结构,其图像分辨率达到100nm,而孤立结构的分辨率低于50nm,小于入射波长的1/7。
- 张手强郭小伟
- 基于长周期波导光栅的宽范围电光调谐滤波器被引量：1
- 2009年
- 设计了一种基于长周期波导光栅的电光调谐滤波器,它具有偏振无关性.理论分析表明,调谐电压在?84～84V之间,波长调谐范围从1530～1565nm,覆盖了整个C波段;在整个调谐范围内,准TE模的耦合效率都在97%以上,3dB带宽小于0.8nm,波长对电压敏感性为0.208nm/V.此滤波器在WDM动态光网络有潜在的应用,可以用作快速波长扫描/选择,信道重构以及光学开关等用途.
- 郭小伟张晓霞李和平刘永刘永智
- 关键词：光学滤波器长周期波导光栅电光调谐偏振无关
