中国博士后科学基金(20080440099)
- 作品数：2 被引量：10H指数：2
- 相关作者：徐宗伟房丰洲张少婧胡小唐韩涛更多>>
- 相关机构：天津大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金高等学校学科创新引智计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 应用聚焦离子束/电子束技术的碳纳米管探针制备工艺研究被引量：2
- 2010年
- 提出利用电子束诱导铂沉积和聚焦离子束铣削技术,实现碳纳米管原子力显微镜探针针尖的制备和结构优化研究。结合高分辨率扫描电子显微镜观测和纳米操纵仪,利用电子束诱导铂沉积实现碳纳米管固定到普通原子力显微镜探针末端,可实现直径小于10nm的纳米管探针制备。提出基于聚焦离子束铣削和照射技术实现对纳米管针尖的长度、角度的精确调控优化,纳米管探针的角度调控精度优于1°。
- 韩涛徐宗伟房丰洲张少婧
- 关键词：原子力显微镜聚焦离子束
- 基于聚焦离子束铣削技术的微刀具制备被引量：8
- 2010年
- 提出了一种利用聚焦离子束(FIB)技术的铣削功能制备微细切削刀具的方法,通过设置恰当的离子束参数及精确控制刀具的不同刀面相对离子束的位置,可以获得具有高精度特征尺寸、锋锐刃口且复杂形状的微刀具.被加工刀具的典型特征尺寸为5～50,μm,可加工各种不同截面形状的微刀具.对硬质合金材料的毛坯进行FIB铣削,获得了宽度为7.65,μm、刃口半径小于30,nm的矩形微刀具.通过在超精密车床上进行加工试验,结果表明,FIB铣削的微刀具具有很好的加工性能.
- 张少婧徐宗伟房丰洲胡小唐
- 关键词：聚焦离子束微加工超精密加工
