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重庆市科技攻关计划(2008AC4017)

作品数：1 被引量：13H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇显微硬度
  • 1篇类金刚石
  • 1篇非平衡磁控溅...
  • 1篇附着力
  • 1篇TI
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇西南大学

作者

  • 1篇聂朝胤
  • 1篇卢春灿
  • 1篇廖兵

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Ti掺杂及Ti应力缓和层对类金刚石薄膜附着力的影响被引量：13
2009年
研究了Ti掺杂对磁控溅射类金刚石(DLC)薄膜附着力及硬度的影响,同时在Ti掺杂类金刚石(Ti-DLC)薄膜的基础上,通过引入Ti应力缓和层制备了Ti/Ti-DLC/Ti/Ti-DLC……软硬交替多层薄膜,研究了Ti应力缓和层对进一步提高薄膜附着力特性的作用。采用纳米划痕仪和显微硬度计分析测试了薄膜的附着力和硬度。研究表明,金属Ti的掺杂有利于DLC薄膜附着力特性的改善,但对硬度有一定的影响。Ti应力缓和层的导入进一步改善了Ti-DLC薄膜的附着力特性,使其达到或超过了TiN薄膜的水平,对于附着力的改善Ti应力缓和层存在最佳的厚度值。采用特殊的变周期多层结构设计即在应力集中的膜基界面附近采用较小的调制周期,薄膜顶层附近采用较大的调制周期不但可以保持足够的附着力,还可维持Ti-DLC薄膜原有的硬度。
聂朝胤安藤彰朗卢春灿廖兵
关键词：非平衡磁控溅射显微硬度附着力
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