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教育部重点实验室基金(K2005-02)
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
相关作者:
刘春海
杨斌
杜晓松
黄宁康
汪德志
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相关机构:
电子科技大学
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发文基金:
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相关领域:
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汪德志
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刘春海
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年份
1篇
2007
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H^+辐照前后Mo涂层表面的XPS分析
被引量:3
2007年
对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积的钼膜进行了H+辐照前后的XPS分析,研究了H+辐照对钼膜的结合能的影响。分析结果表明,沉积的钼膜中除了单质钼外,还有部分钼的氧化物;H+辐照结果表明,H+的辐照使钼的结合能向低能方向偏移;钼的氧化物有所减少,说明污染的氧化物在一定程度上被择优溅射掉。
刘春海
杜晓松
汪德志
黄宁康
杨斌
关键词:
离子束混合
MO薄膜
XPS分析
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