上海市科委纳米专项基金(0352nm017)
- 作品数：2 被引量：6H指数：2
- 相关作者：张冬梅吴惠菁丁桂甫姜政程光明更多>>
- 相关机构：上海交通大学吉林大学更多>>
- 发文基金：上海市科委纳米专项基金教育部科学技术研究重大项目更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 新式压电精密旋转驱动器被引量：2
- 2006年
- 提出一种新型将压电叠堆驱动元件应用到精密旋转驱动器上的研究方案。在对驱动器工作原理和机械结构进行分析研究的基础上,建立了以压电叠堆为驱动元件的旋转驱动数学模型。采用有限元分析软件对机械结构进行了分析,得到了机械结构工作方向的静力学变形图和频率响应特性曲线;对低频状态驱动器的旋转分辨率进行了试验测试,并对样机的频响特性进行了试验测试,结果表明仿真分析结果基本反映了机械结构的谐振频率分布状况,对结构优化设计具有一定的意义,此外对影响测试结果精度的因素进行了分析。设计的结构具有低频工作稳定、分辨率高(0.136 6μrad)等优点。
- 吴博达赵宏伟张宏壮程光明
- 关键词：频响特性压电叠堆柔性铰链有限元仿真
- 微加工电化学沉积锌牺牲层工艺被引量：4
- 2006年
- 在微加工中通过电化学沉积Zn制备牺牲层从而制备悬空结构。电化学沉积Zn牺牲层工艺具有易获取牺牲层,去除快速,腐蚀选择性好,耐高温等优点。在电化学沉积Zn牺牲层工艺中易遇到与基底结合力不够、使用高温工艺时易产生气泡、打磨后残留杂质、去除牺牲层时残留难去物和悬空结构释放时易黏附等问题,通过在Ti/Cu电镀种子层上预镀Ni薄层获使用Ti/Au电镀种子层、慢速升温的预真空高温烘烤、电解稀碱液法和氧化清洗、使用丙酮和F117进行应力释放等方法改进工艺后可以克服这些问题。电化学沉积Zn牺牲层工艺是较为理想的制备悬空结构的工艺。
- 姜政丁桂甫吴惠菁张冬梅
- 关键词：锌牺牲电化学微加工
