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国家基础科研基金资助项目(A0626270)
作品数:
1
被引量:9
H指数:1
相关作者:
师谦
刘洁
恩云飞
何玉娟
罗宏伟
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相关机构:
电子元器件可靠性物理及其应用技术国防科技重点实验室
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发文基金:
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相关领域:
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作者
1篇
罗宏伟
1篇
何玉娟
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恩云飞
1篇
刘洁
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师谦
传媒
1篇
半导体技术
年份
1篇
2008
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SOI MOSFET抗辐射加固的常用方法与新结构
被引量:9
2008年
SOI CMOS技术存在许多优势,但由于存在厚的埋氧层,其总剂量效应反而比体Si器件更差,因此需进行总剂量抗辐射加固设计。对几种SOI MOSFET的栅氧、埋氧和场氧总剂量抗辐射加固的方法进行了对比较分析,指出了各自的优劣势,给出了研究方向。并对FLEXFET和G4-FET三维SOI器件抗辐射加固新结构进行了阐述,分析了其优越性。
何玉娟
刘洁
恩云飞
罗宏伟
师谦
关键词:
SOI
总剂量效应
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