国家自然科学基金(50275140)
- 作品数：13 被引量：93H指数：7
- 相关作者：黄文浩蒋中伟夏安东褚家如袁大军更多>>
- 相关机构：中国科学技术大学中国科学院清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
- 基于等光强面的飞秒激光三维微加工分辨力研究
- 双光子微细加工系统的分辨能力直接影响三维器件成型的精度和质量。根据自由基类光聚合材料双光子加工分辨力的理论分析,提出等光强面的概念,在此基础上讨论了激发光强与系统加工分辨力之间的关系。通过不同光强条件下双光子三维加工固化...
- 蒋中伟郭锐袁大军夏安东黄文浩
- 关键词：飞秒激光双光子激发
- 文献传递
- 双光子三维微细加工的进展被引量：11
- 2004年
- 介绍了双光子微细加工的原理及特点 ,总结了国内外在三维微结构、三维功能器件以及新型材料双光子微细加工的一些进展 .同时介绍了作者在双光子三维微细加工研究中取得的一些研究结果 .
- 袁大军蒋中伟徐藻郭锐王翔黄文浩夏安东褚家如
- 关键词：双光子激发飞秒激光微细加工激光加工
- 双光子三维微细加工重要工艺参数的实验研究被引量：7
- 2003年
- 优化工艺参数是保证双光子微细加工质量的重要条件。经分析选取了激发光强、覆盖率和物镜的数值孔径作为实验研究对象。用自行开发的双光子微细加工系统,通过单独控制一个加工条件而固定其它条件的方法,对比不同条件下系统的实验结果,探讨该工艺条件对加工质量的影响。最后,给出了经参数优化后的部分实验结果。
- 蒋中伟袁大军陈荣刚黄文浩褚家如刘允萍
- 关键词：工艺参数
- 双光子三维微细加工技术及实验系统的开发被引量：34
- 2003年
- 介绍了一种新型的三维微细加工技术 ,描述了自行开发的双光子微细加工实验系统。双光子三维微细加工技术利用材料与飞秒激光束在焦点局域发生的双光子激发 ,通过逐点扫描 ,实现微器件的三维成型。由于材料发生双光子激发的几率与激发光强的平方成正比 ,所以具有极高瞬时光强的飞秒激光器和可以对光束进行强聚焦的显微镜装置成为系统的关键部件 ,对此进行了详细的说明。最后 ,给出了部分利用上述加工系统所获得的初步实验结果。
- 蒋中伟袁大军祝安定夏安东黄文浩褚家如刘允萍
- 关键词：双光子激发光聚合飞秒激光器激光加工
- 飞秒激光双光子复杂结构的微细加工被引量：6
- 2004年
- 阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点。利用自行研制的飞秒双光子微细加工系统,在优化工艺参数的基础上,加工出一系列三维微结构,并实现了可动的三维微系统—齿轮轴系统的一次成型。
- 袁大军蒋中伟郭锐徐藻王翔黄文浩夏安东褚家如
- 关键词：双光子激发光聚合飞秒激光器
- 双光子三维微细加工的分辨率研究被引量：7
- 2004年
- 为了改善双光子加工的成型精度和微器件的质量,提高加工系统的分辨率是十分重要的。根据自由基类光聚合材料双光子加工分辨率的理论分析,提出等光强面概念,并在此基础上讨论了激发光强与系统加工分辨率之间的关系。通过不同光强条件下双光子三维加工固化单元的实验,验证了等光强面和系统分辨率之间的对应关系,并分析了出现微小差异的原因。根据上述理论模型,可以估算一定实验条件下系统可实现的加工分辨率,优化加工工艺参数。最后给出了部分微器件的成型结果。
- 蒋中伟袁大军郭锐徐藻王翔夏安东黄文浩
- 关键词：双光子激发
- 光摄技术在驱动微机械器件方面的应用
- 简要介绍了光镊的工作原理及近年来光镊在操纵、驱动双光子光聚合加工出的微机械器件方面的主要应用,对几种典型光驱动方式进行了比较,对微机械转子模型进行了理论什算,分析了试验参数对驱动效率的影响。并对光聚合微机械器件的光驱动发...
- 祝安定刘宇翔汪飞夏安东黄文浩
- 关键词：光镊微机械
- 文献传递
- 复杂结构的飞秒激光双光子微细加工
- 利用强聚焦飞秒激光可以诱导材料发生显著的双光子激发,进而可以实现复杂三维结构的微纳米加工。本文阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点。详细介绍了自行研制的飞秒双光子微细加工系统的组成和性能。在优化工艺参数的基...
- 袁大军蒋中伟郭锐黄文浩夏安东褚家如
- 关键词：双光子激发光聚合飞秒激光器
- 文献传递
- 飞秒激光微爆加工铌酸锂晶体
- 2008年
- 利用紧聚焦飞秒激光脉冲入射到铌酸锂(LiNbO3)晶体中引起微爆,可以在晶体内部进行微爆加工.与各向同性的熔融石英不同,因为铌酸锂晶体的各向异性,微爆加工点在垂直晶轴的截面上表现出强烈的各向异性.我们利用狭缝光阑对入射飞秒高斯光束进行整形,改变了光束的能量分布,成功地减小加工点的各向异性,获得尺寸较一致的微爆单元.另外发现由于折射率失配的存在,飞秒脉冲激光聚焦深度不一样时,微爆加工点在沿晶轴方向的截面形状和尺寸都有很大的变化,对此也进行了理论和实验上的分析.
- 肖诗洲郭锐程光华黄文浩
- 关键词：铌酸锂微爆激光微加工
- 原子力显微镜测量双光子成型点的弹性模量被引量：2
- 2006年
- 提出了一种飞秒激光双光子成型点弹性模量的测量及结果分析方法。借助于原子力显微镜,选用无针尖探针对成型点的力学性能进行了测试,建立了椭球-平面接触的弹性力学模型。考虑了成型点剩余部分形变对结果分析的影响,在标定微探针弹性系数和对粘附力进行分析的基础上,提取了力曲线中所包含的力学信息,推算出了成型点的弹性模量,得到了成型点的弹性模量低于宏观材料弹性模量的结论。
- 苏亚辉陈宇航董磊郑志军郭锐肖诗洲黄文浩
- 关键词：原子力显微镜弹性模量力学模型
