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上海市自然科学基金(11ZR1425000)

作品数:4 被引量:5H指数:1
相关作者:陈麟高春梅朱亦鸣谢乐蔡斌更多>>
相关机构:上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室教育部更多>>
发文基金:上海市自然科学基金国家自然科学基金上海市教育委员会重点学科基金更多>>
相关领域:电子电信理学机械工程更多>>

文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 3篇太赫兹
  • 2篇有限元
  • 2篇赫兹
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体激元
  • 1篇亚波长
  • 1篇时域
  • 1篇太赫兹波
  • 1篇平行板波导
  • 1篇周期
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇谐振腔
  • 1篇铝质
  • 1篇刻蚀
  • 1篇各向异性
  • 1篇光学
  • 1篇硅基
  • 1篇MEMS

机构

  • 4篇上海理工大学
  • 1篇教育部
  • 1篇上海市现代光...

作者

  • 4篇陈麟
  • 3篇朱亦鸣
  • 3篇高春梅
  • 2篇谢乐
  • 1篇蔡斌
  • 1篇彭滟
  • 1篇陈长英
  • 1篇魏玉明
  • 1篇陈克坚
  • 1篇蔡斌
  • 1篇徐嘉明

传媒

  • 3篇光学仪器
  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2012
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
铝质亚波长圆孔阵列与牛眼结构的太赫兹波传输特性被引量:1
2013年
使用太赫兹时域光谱系统(THz-TDS)对基于超常光学透射现象的铝质亚波长圆孔阵列和牛眼结构进行了实验研究.实验中,使用包含00 1~2.7 THz的入射脉冲,观察到了明显的滤波效应,且滤波峰的中心频率恰好为两种结构所设计的0.53 THz.太赫兹波的高频部分,尤其是高于1 THz的部分发生了急剧地衰减.随着大样品中圆孔数量的增加,由于更加明显的周期性,滤波峰的中心漂移到0.26 THz.使用表面等离子体激元(SPPs)的相关理论以及运用有限元算法(FEM)对实验中观察到的超常光学透射现象和滤波效应进行模拟和分析,模拟的结果与实验数据吻合得非常好.
陈麟高春梅徐嘉明谢乐朱亦鸣
关键词:表面等离子体激元
基于平行板波导的双槽谐振腔的特性研究被引量:1
2014年
为使在太赫兹横电波模式下基于平行板波导的对称的双矩形谐振腔结构在滤波、传感等方面有更好的应用,在理论上使用有限元方法对该结构在太赫兹横电波模式下进行了理论上的模拟仿真,并使用时域太赫兹波谱系统在实验上对其理论仿真结果进行了验证。理论和实验均表明在太赫兹横电波模式下基于平行板波导的对称的双矩形谐振腔结构,对谐振频率的选择以及谐振频率Q值的大小均与两平行板的板间距有关,即随着板间距的增大,谐振频点均出现了红移,红移的速率为136GHz/mm,并且其Q值也随着板间距的增大而变大。此结果对太赫兹横电波模式下基于平行板波导的对称的双矩形谐振腔结构在滤波、传感等方面的应用提供了参数上的依据。
朱亦鸣高春梅陈麟
关键词:谐振腔平行板波导太赫兹有限元
硅基周期槽结构的刻蚀工艺研究被引量:1
2016年
针对微电子机械系统(MEMS)湿法槽刻蚀技术,基于硅材料各向异性腐蚀特性研究了硅基周期槽的湿法刻蚀工艺,得出了优化的光刻参数。通过对比实验详细分析了搅拌在腐蚀过程中起到的重要作用,实验结果显示,搅拌可以增加腐蚀溶液的流通性,使硅表面不易产生气泡形成"伪掩膜"阻碍反应的进行,从而制备出表面光滑平整的周期槽结构。同时,在搅拌的条件下对槽深和腐蚀时间的关系也做出了相应的分析。为硅微机械加工技术的进一步研究提供了参考。
魏玉明陈长英陈麟
关键词:各向异性刻蚀
不同周期数牛眼结构对基于伪表面等离子激发的太赫兹透射的影响被引量:2
2012年
为研究不同周期数的牛眼结构对太赫兹透射的影响,本文利用微机械加工方法,在铝板上分别制作5个圆环凹槽和15个圆环凹槽两种牛眼结构,并利用时域太赫兹波谱系统,对比了这两种不同周期数的牛眼结构的太赫兹时域信号和频域信号.实验结果显示,0.1~2.7THz宽频太赫兹参考信号可以被两种不同周期数的牛眼结构滤成窄带信号,中心峰值均在约0.53THz处,在该值处,5个圆环凹槽的透射率约为55.7%,15个圆环凹槽的透射率约为68.3%,1THz以上高频信号都被基本滤除,小周期数样品与大周期数样品太赫兹透射谱信号带宽与幅值的差别主要是由于周期性展开不足及边缘泄漏所引起.本文利用伪表面等离子理论解释了滤波效果,并通过有限元方法模拟仿真了宽频太赫兹信号通过不同周期数的牛眼结构后的样品信号,模拟结果与实验结果符合得较好,证实了不同周期数的牛眼结构对太赫兹电磁波的增透效应是不同的.
高春梅陈麟谢乐彭滟陈克坚陈克坚朱亦鸣
关键词:超快光学有限元
共1页<1>
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