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国际科技合作与交流专项项目(2010DFR50130)

作品数：1 被引量：11H指数：1
相关作者：范朋伟苏静杰李义锋刘艳青于盛旺更多>>
相关机构：北京科技大学更多>>
发文基金：国际科技合作与交流专项项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术化学工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇金刚石膜
  • 1篇MPCVD

机构

  • 1篇北京科技大学

作者

  • 1篇唐伟忠
  • 1篇于盛旺
  • 1篇刘艳青
  • 1篇李义锋
  • 1篇苏静杰
  • 1篇范朋伟

传媒

  • 1篇中国材料进展

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
高品质金刚石膜微波等离子体CVD技术的发展现状被引量：11
2012年
金刚石膜拥有许多优异的性能。在制备金刚石膜的各种方法之中,高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法因其产生的等离子体密度高,同时金刚石膜沉积过程的可控性和洁净性好,因而一直是制备高品质金刚石膜的首选方法。在世界范围内,美、英、德、日、法等先进国家均已掌握了以高功率MPCVD法沉积高品质金刚石膜的技术。但在我国国内,高功率MPCVD装备落后一直是困扰我国高品质金刚石膜制备技术发展的主要障碍。首先综述国际上高功率MPCVD装备和高品质金刚石膜制备技术的发展现状,包括各种高功率MPCVD装置的特点。其后,回顾了我国金刚石膜MPCVD技术的发展历史,并介绍北京科技大学近年来在发展高功率MPCVD装备和高品质金刚石膜制备技术方面取得的新进展。
唐伟忠于盛旺范朋伟李义锋苏静杰刘艳青
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