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国家高技术研究发展计划(2002AA4040907)

作品数：2 被引量：13H指数：2
相关作者：唐洁胡小唐李艳宁张国雄傅星更多>>
相关机构：天津大学更多>>
发文基金：教育部留学回国人员科研启动基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 3篇烧蚀
  • 3篇微机电系统
  • 3篇脉冲
  • 3篇脉冲激光
  • 3篇机电系统
  • 3篇激光
  • 3篇激光烧蚀
  • 3篇电系统
  • 2篇微加工
  • 2篇微加工技术
  • 2篇MEMS
  • 1篇电路
  • 1篇集成电路
  • 1篇LIGA技术

机构

  • 3篇天津大学

作者

  • 3篇李艳宁
  • 3篇唐洁
  • 2篇胡小唐
  • 2篇张国雄
  • 1篇宋晓辉
  • 1篇饶志军
  • 1篇胡晓东
  • 1篇傅星

传媒

  • 1篇压电与声光
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇微纳制造技术...

年份

  • 1篇2005
  • 2篇2003
共 2 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用
阐述脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用。脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构井具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到之...
李艳宁唐洁胡小唐张国雄
关键词：脉冲激光微机电系统激光烧蚀
文献传递
脉冲激光MEMS加工技术被引量：4
2003年
阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统 (MEMS)加工中的应用。脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米 /亚微米加工精度 ,且适用于多种材料 ,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到之处。进一步阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术、激光 LIGA技术。
李艳宁唐洁饶志军宋晓辉胡晓东傅星胡小唐
关键词：脉冲激光微机电系统激光烧蚀集成电路
脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用被引量：9
2005年
介绍了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用。脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术(光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等)相比具有其独到之处。阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术、激光-LIGA技术、激光辅助沉积与刻蚀技术以及MEMS的激光辅助操控及装配技术。
李艳宁唐洁胡小唐张国雄
关键词：脉冲激光微机电系统激光烧蚀
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