甘肃省科技攻关计划(2GS057-A52-004)
- 作品数：2 被引量：10H指数：2
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- 热处理时间对溶胶-凝胶法制备ITO薄膜结构、形貌和性质的影响被引量：2
- 2009年
- 以InCl3.4H2O、SnCl4.5H2O、乙酰丙酮为原料,采用溶胶-凝胶旋涂工艺在普通玻璃基底上制备了ITO薄膜,每次旋涂之后,将样品放在260℃的烘箱中干燥15min,然后进行第二次旋涂,最后在300℃对样品进行热处理。随着退火时间的延长,XRD衍射结果表明,薄膜的结构由退火前的InOCl的简单斜方结构转变为ITO的立方铁锰矿结构。当热处理时间为22h时,薄膜的方块电阻达到最小值1500Ω/□,电阻率为6×10-2Ω.cm,而可见光范围透过率达到最大值83%。
- 高美珍辛科张锋孙惠娜
- 关键词：铟锡氧化物溶胶-凝胶
- 溶胶-凝胶法制备ZnO:Sn(TZO)薄膜被引量：8
- 2010年
- 以普通玻璃为衬底,采用溶胶-凝胶旋涂法制备出c轴择优取向性、高可见光透过率以及低电阻率的ZnO：Sn（TZO）薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、四探针及紫外-可见分光光度计（UV-VIS）等手段,研究了不同Sn掺杂浓度对薄膜的晶体结构、表面形貌、电学和光学特性的影响。实验结果表明,在500℃的空气中热处理,然后在低温环境快速冷却,得到的TZO薄膜均具有六角纤锌矿结构,且呈c轴择优取向,薄膜在可见光范围内平均透光率超过90%,同时当Sn掺杂浓度为3 at.%时,薄膜的电阻率达到最小值8.2×10-1Ω.cm。
- 孙惠娜刘静高美珍
- 关键词：溶胶-凝胶法光电特性
