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国家高技术研究发展计划(2004AA848040)
作品数:
1
被引量:7
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相关作者:
王毕艺
蒋晓东
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祖小涛
郑万国
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相关机构:
电子科技大学
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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郭袁俊
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郑万国
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袁晓东
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蒋晓东
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王毕艺
传媒
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压电与声光
年份
1篇
2008
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SiO_2和ZrO_2薄膜光学性能的椭偏光谱测量
被引量:7
2008年
用溶胶-凝胶工艺在碱性催化条件下,采用旋转镀膜法在K9玻璃上分别制备了性能稳定的单层SiO2薄膜与单层ZrO2薄膜。用反射式椭圆偏振光谱仪测试了薄膜的椭偏参数,并用Cauchy模型对椭偏参数进行数据拟合,获得了溶胶-凝胶SiO2与ZrO2薄膜在300-800nm波段的色散关系。用紫外-可见分光光度计测量了薄膜的透射率,并与用椭偏仪换算出来的结果相比较;用原子力显微镜观察了薄膜的表面微结构。并讨论表面微结构与薄膜光学常数之间的关系。分析结果表明,Cauchy模型能较好的描述溶胶-凝胶薄膜的光学性能,较详细的得到了薄膜的折射率,消光系数等光学常数随波长λ的变化规律;薄膜光学常数的大小与薄膜的微结构有关。
王毕艺
袁晓东
蒋晓东
祖小涛
郭袁俊
郑万国
关键词:
椭偏仪
溶胶-凝胶
光学常数
透射率
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