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国家高技术研究发展计划(2004AA848040)

作品数:1 被引量:7H指数:1
相关作者:王毕艺蒋晓东袁晓东祖小涛郑万国更多>>
相关机构:电子科技大学中国工程物理研究院更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶
  • 1篇透射
  • 1篇透射率
  • 1篇椭偏仪
  • 1篇光学
  • 1篇光学常数
  • 1篇光学性
  • 1篇光学性能
  • 1篇ZRO

机构

  • 1篇电子科技大学
  • 1篇中国工程物理...

作者

  • 1篇郭袁俊
  • 1篇郑万国
  • 1篇祖小涛
  • 1篇袁晓东
  • 1篇蒋晓东
  • 1篇王毕艺

传媒

  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2008
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
SiO_2和ZrO_2薄膜光学性能的椭偏光谱测量被引量:7
2008年
用溶胶-凝胶工艺在碱性催化条件下,采用旋转镀膜法在K9玻璃上分别制备了性能稳定的单层SiO2薄膜与单层ZrO2薄膜。用反射式椭圆偏振光谱仪测试了薄膜的椭偏参数,并用Cauchy模型对椭偏参数进行数据拟合,获得了溶胶-凝胶SiO2与ZrO2薄膜在300-800nm波段的色散关系。用紫外-可见分光光度计测量了薄膜的透射率,并与用椭偏仪换算出来的结果相比较;用原子力显微镜观察了薄膜的表面微结构。并讨论表面微结构与薄膜光学常数之间的关系。分析结果表明,Cauchy模型能较好的描述溶胶-凝胶薄膜的光学性能,较详细的得到了薄膜的折射率,消光系数等光学常数随波长λ的变化规律;薄膜光学常数的大小与薄膜的微结构有关。
王毕艺袁晓东蒋晓东祖小涛郭袁俊郑万国
关键词:椭偏仪溶胶-凝胶光学常数透射率
共1页<1>
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