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国家自然科学基金(51310Z07-2)

作品数：1 被引量：3H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇电子科技大学

作者

  • 1篇包生祥
  • 1篇王志红
  • 1篇沈健

传媒

  • 1篇电子测量与仪...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
开尔文力显微镜检测ZnO薄膜的接触电势差被引量：3
2006年
本文利用开尔文力显微镜观测了ZnO薄膜上ZnO/Si台阶处的接触电势差,研究了扫描速度对接触电势差检测的影响,并分析了造成这种影响的原因。实验测得电势分布在ZnO/Si台阶处有明显变化,ZnO/Si的接触电势差为250mV。实测值偏离理论计算值的原因是接触电势差受大气中表面吸附、氧化层、表面电荷等因素的影响。在不同的扫描速度下对同一区域进行扫描,发现扫描速度对接触电势差的检测有很大影响,扫描速度增大,检测结果逐渐偏离真实值,这种现象是力调制模式的开尔文力显微镜的信号处理方式造成的。建议在低速下进行扫描,以获得理想的检测结果。
沈健包生祥王志红
关键词：ZNO薄膜
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