国防基础科研计划(D0920061330-07)
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 相关作者：王伟刘军洁刘丙才王小娟更多>>
- 相关机构：西安工业大学更多>>
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- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- MEMS陀螺中折叠梁的建模与仿真被引量：1
- 2009年
- 针对MEMS陀螺中常见的折叠梁结构,建立了折叠梁的理论模型,并在SABER平台上建立了其系统级模型.进而将两根折叠梁相连的模型用于MEMS陀螺的设计与仿真,对其进行频域和时域分析.利用基于ANSYS的有限元仿真结果对模型进行了有效性验证,分析了折叠梁的尺寸参数变化对陀螺谐振频率的影响.仿真结果表明,折叠梁的系统级模型与ANSYS仿真结果的误差小于5%,仿真时间仅200 s,可以在确保仿真精度的前提下,满足MEMS器件快速设计的要求.
- 王小娟王伟刘丙才
- 关键词：系统级模型有限元方法
- Z轴微机械陀螺仪的空气阻尼分析被引量：5
- 2010年
- 为了提高Z轴微机械陀螺的动态特性,采用ANSYS模态分析和流体薄膜技术完成滑膜阻尼和压膜阻尼的计算,分析了空气阻尼对陀螺的品质因数、灵敏度等性能的影响,研究结果表明,具有对称解耦能力的微机械陀螺仪主要产生滑膜阻尼,阻尼系数较小,约为1.3E-5kg/s,微机械陀螺品质因数为900.结合工艺误差和结构设计特性,提出减小微机械陀螺空气阻尼的优化方案.
- 王伟刘军洁
- 关键词：微机械陀螺
