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国家自然科学基金(50175037): 作品数：21 被引量：159H指数：9; 相关作者：谢铁邦郭军王选择戴蓉常素萍更多>>; 相关机构：华中科技大学三峡大学湖北工学院更多>>; 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国家杰出青年科学基金更多>>; 相关领域：机械工程金属学及工艺自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

基于迈克尔逊干涉原理的高精度位移传感器被引量：4: 2007年; 介绍了一种新型的基于迈克尔逊干涉原理的高精度位移传感器,分析了其光学原理、测量电路和信号细分方法。该位移传感器还采用了一种新的光电管排列方法,使得信噪比较传统的光电管排列方法有极大的提高并且更便于光学调整。该传感器的测量分辨率高达5nm,可应用于表面形貌的高精度测量。; 杨旭东陈育荣谢铁邦; 关键词：位移传感器光电管信噪比

光栅计量型的垂直扫描位移工作台及其误差分析被引量：1: 2006年; 为满足精密测量中垂直扫描白光干涉以及千分表、电感位移传感器、表面粗糙度触针位移传感器标定对垂直方向的高精度定位和高分辨率运动要求,研制出一种纳米级垂直扫描位移工作台.该工作台采用柔性铰链结构,压电陶瓷驱动位移,满足纳米级微位移驱动要求,同时利用两级杠杆放大结构,扩大了位移行程.针对压电陶瓷驱动的位移随电压变化的非线性特点,利用衍射光栅对压电驱动进行实时监控,对这种非线性误差进行实时补偿.衍射光栅固定在工作台的微定位板上,工作台的移动量可由衍射光栅二次衍射干涉后产生的条纹变化得到.根据衍射光栅的计量特点,分析垂直扫描位移工作台测量误差的主要影响因素.通过试验验证,优化系统误差,进一步提高了垂直扫描位移工作台的定位精度.; 常素萍孙艳玲谢铁邦戴蓉; 关键词：计量学压电陶瓷衍射光栅白光干涉

一种高精度非接触式位移传感器及其应用: 聚焦探测法是表面形貌非接触测量中的主要方法之一。然而．由于在聚焦伺服系统中采用了音圈电机．传统的聚焦探测传感器的测量精度较为有限。本文介绍了一种新型的基于改进傅科聚焦探测法且自带衍射光栅计量系统的非接触式位移传感器。因为...; 陈育荣杨旭东谢铁邦; 关键词：非接触测量位移传感器压电陶瓷驱动器; 文献传递

Design and Applications of A 3D Precision Probe: 2005年; A 3D probe used for NC\|copying process is proposed in the paper. The construction of parallel springs is adopted in the probe. It has compact structure and little volume. By adjusting spring force and improving sensitivity, the probe can be used in CMM. Errors of the probe are analysed. Performances of the probe are verified by test of measuring force, verification of precision of single axis and plane precision.; LIUXin-biaoXIETie-bang; 关键词：CMM 机械工业误差分析

COMPACT PHASE GRATING INTERFERENCE SENSOR FOR MICRO-DISPLACEMENT被引量：2: 2006年; 根据存在技术，阶段栅栏干扰(PGI ) 的一个紧缩的微排水量的传感器被描述，它作为刻度标准采用圆柱的全息图衍射栅栏。传感器的光原则被解释，并且在栅栏运动排水量之间的关系和干扰条纹的阶段移动被推出。不可分的结构和光电的信号处理的方法的 Theimprovement redescribed 详细。与软件系统基于象精确排水量工作台那样的虚拟仪器开发 platformLabwindows/CVI 和另外的硬件，典型部分的表面被测量，描述结果被给。传感器有独立于这个事件的波长的分辨率，它的敏感和分辨率点亮的宽测量范围和高度。垂直测量范围是 0-6 公里，并且垂直分辨率是 0.005 妈妈。试验性的结果证明传感器能习惯于措施并且描绘飞机和弄弯的表面的表面地形学参数。; XIAO Gang XIE Tiebang WANG Xuanze; 关键词：表面形貌相位光栅微位移

白光干涉轮廓仪工作台的设计及有限元分析: 2007年; 研究开发了一种能实现大量程位移和纳米级定位精度的一维位移工作台。工作台采用了粗、精2级定位机构,以精密衍射光栅传感器组成工作台位移的闭环检测系统。文中对由压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的精定位机构进行了力学建模分析,并对其进行了有限元仿真运算。设计的工作台已成功应用于白光干涉轮廓测量仪,文中给出了轮廓仪部分测量结果。; 戴蓉谢铁邦; 关键词：微定位工作台柔性铰链有限元分析

新型一维位移工作台的设计及特性分析被引量：18: 2006年; 研究开发了一种能实现大量程位移和纳米级定位精度的一维位移工作台。工作台采用粗、精两级定位机构，以精密衍射光栅传感器组成工作台位移的闭环检测系统。工作台可以实现0～6mm的位移及1nm的定位分辨力。文中建立了由压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的精定位机构的机电耦合模型，进行了精定位机构的模态分析和静力学分析，并采用ANSYS软件进行了有限元仿真运算。最后给出了工作台在表面三维微观形貌测量仪中的应用结果。; 戴蓉谢铁邦; 关键词：微定位工作台柔性铰链有限元分析模态分析

垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量系统被引量：23: 2006年; 依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪。重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析。所研制的测量系统具有1nm的垂直分辨力,可用于表面粗糙度、台阶、膜厚、球面等三维形貌测量。; 戴蓉谢铁邦常素萍; 关键词：白光干涉微动工作台有限元分析

表面形貌的Motif评定方法及其发展被引量：19: 2002年; Motif方法是一种新的表面形貌评定方法 ,通过设定不同的阈值 ,可以将波度和表面粗糙度分离开来 ,它强调大的轮廓峰和谷对功能的影响 ,在评定中选取了重要的轮廓特征 ,而忽略了不重要的特征。介绍了 2维 Mo-tif的参数和合并条件 ,然后对 3维 Motif方法的定义、评定参数及算法等进行了综述 ,并提出了推广这一评定方法需要注意的问题。; 杨练根谢铁邦蒋向前李柱; 关键词：表面形貌表面粗糙度波度

A high precision profilometer based on vertical scanning microscopic interferometry: 2008年; 为微表面的地形学的 3 尺寸测量使用的 profilometer 被介绍。仪器基于垂直扫描显微镜的 interferometry (VSMI ) 。一台 Linnik 类型干扰显微镜被使用，介绍表面侧面的变化的 interferograms 与一个电荷耦合器件照相机被记录。有测量系统的综合光栅栏排水量的一个发达放 nano 工作阶段在侧面测量期间认识到精确垂直扫描运动。由转移任意的步的算法的一个白光的阶段， interferograms 的框架被一台计算机处理重建并且评估测量侧面。因为 VSMI 的特长， profilometer 对光滑、不平的表面测量合适。测量弄弯的表面能也被用来，微电镀物品的尺寸机械系统(MEMS ) ，等等。profilometer 的垂直决定是 0.5 nm，和侧面的分辨率 0.5 μm。; 戴蓉谢铁邦龚文常素萍; 关键词：轮廓仪

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