江西省自然科学基金(20132BAB202001)
- 作品数：2 被引量：6H指数：2
- 相关作者：陈义川胡跃辉童帆郭胜利胡克艳更多>>
- 相关机构：景德镇陶瓷学院更多>>
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- 相关领域：理学更多>>
- 溅射气压对Li-W共掺杂ZnO薄膜性能的影响被引量：3
- 2015年
- 通过RF磁控溅射在不同溅射气压环境中,在石英衬底上制备得到Li-W共掺杂Zn O薄膜(LWZO)。对样品进行X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透过率以及电阻率的测试。结果表明:适当溅射气压环境下,有助于提高LWZO薄膜的结晶质量;SEM结果显示随着溅射气压增加LWZO薄膜表面晶粒粒径更小,表面更平整;薄膜的透光率保持在85%左右。光致发光光谱表明:LWZO的光致发光由本征发光及缺陷发光组成,结晶度高以及择优取向好,本征发光强度强。同时,薄膜的最低电阻率也达到了6.9×10-3Ωcm。
- 陈义川胡跃辉张效华刘细妹张志明徐斌
- 关键词：共掺杂溅射气压ZNO薄膜
- 溅射压强对W掺杂ZnO薄膜结构及光学性能的影响被引量：3
- 2016年
- 在不同溅射压强下,通过射频(RF)磁控溅射在石英玻璃衬底上沉积得到W掺杂ZnO薄膜(WZO)。对样品的结晶性能,表面形貌和光学性能进行测试分析,结果表明:在适当溅射压强下,薄膜具有良好的结晶性和光学性能。随着溅射压强的增加,薄膜的结晶性先变好后变差,晶粒尺寸先增大后减小,在1.0 Pa时薄膜的结晶性最好,且晶粒尺寸最大,约为32 nm;所有WZO薄膜样品的平均透光率超过80%;光致发光主要由本征发光和缺陷引起的蓝光发光组成,在1.0 Pa时薄膜还有明显的Zni缺陷,在1.2 Pa时薄膜有明显的Oi缺陷。
- 郭胜利胡跃辉胡克艳陈义川范建彬徐承章童帆
- 关键词：溅射压强ZNO薄膜光致发光
