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国家自然科学基金(50175062): 作品数：19 被引量：117H指数：7; 相关作者：程灏波冯之敬王英伟张云赵广木更多>>; 相关机构：清华大学长春理工大学北京理工大学更多>>; 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金更多>>; 相关领域：机械工程金属学及工艺化学工程理学更多>>

纳米精度光学非球面研磨、抛光技术被引量：6: 2004年; 介绍了高精度光学非球面的研磨、抛光技术与计算机控制水平、机械设计能力等相关领域的发展。; 程灏波王英伟; 关键词：非球面

非球面镜顶点曲率半径测量方法: 非球面镜具有优良的光学性能,在现代光学系统设计中广泛采用。在非球面镜的生产加工中,需要一种既方便快捷又准确可靠的测量一些特征参数的在线检测方法。顶点曲率半径是非球面镜加工、检测和光学系统装校中的一个重要参数。介绍了一种基...; 王浩李莹曾理江冯之敬; 关键词：精密工程测量非球面镜光线追迹在线检测; 文献传递

基于图像变换的自由曲面光学透镜面形测量被引量：1: 2002年; 对称中心的自由曲面光学透镜的光学表面面形测量 ,是光学加工制造领域的难题。为达到高精度测量 ,提出一种可用于自由曲面光学透镜在线光学测量方法。基于光学透镜的图像变换特性与其光学表面面形之间存在着的拓扑关系 ,通过对标准输入图像和经过待测自由曲面光学透镜变换后的输出图像进行智能辨识、分析和处理 ,求出该光学透镜的变换矩阵 ,并据此精确测量出待测光学透镜的曲面面形。实验结果表明 :基于图像变换的测量方法的测量误差小于 2～ 3μm,能够适用于自由曲面光学透镜的非接触。; 郭震宇冯之敬赵广木; 关键词：图像变换面形测量

利用有限Fourier系数算法求解光学制造中误差校正输入数据被引量：4: 2006年; 光学自由曲面是一类极难制造的异形曲面,采取计算机控制光学表面成型技术制造时,元件表面材料去除量由单位去除函数与输入参量(驻留时间)之间的卷积分决定.求解加工驻留时间,一般利用低通滤波器或迭代的方法借助于反卷积算法,但是结果中存在的近似解将会影响加工稳定性.本研究基于有限Fourier系数算法构建输入参量求解模型,可以有效提高参量求解精度并保证加工过程的连续稳定.通过对影响计算机控制光学表面成型工艺参数的仿真分析,对求解模型实施评价,实验结果验证这一方法可以指导高精度自由曲面光学元件的超精密制造.; 程灏波孙国正冯之敬; 关键词：光学制造自由曲面

零补偿干涉检测实现及误差量规律被引量：6: 2006年; 针对大口径离轴光学非球面反射镜的特殊工艺性,在合理设计零补偿器结构形式的基础上,综合考虑零补偿器各组件的误差参量做进一步优化.利用零补偿器实施非球面元件面形干涉检测过程中,着重分析调整误差对检验精度的影响,建立误差标定模型.以一块二次离轴非球面反射镜为实例进行了计算机模拟分析,得到对应不同调整误差的干涉图样,可以为快速地调整补偿器与被检元件之间相互位置提供参考,有助于获得指导加工的真实面形结果.; 程灏波; 关键词：非球面抛光

光学非球面反射镜轻量化制造技术被引量：2: 2004年; 新一代的空间相机一般通过采用轻质大尺寸的非球面光学元件来提高系统的成像质量,以降低系统复杂性。而空间相机中的结构件主要是用来支撑和定位主镜,如果主镜制作得更轻,则系统的其它结构将会设计得更加轻巧。受此趋势影响,大口径非球面镜的轻量化问题成为一个研究热点。; 程灏波; 关键词：非球面轻量化

数字化阴影法测量光学元件表面面形的研究被引量：1: 2004年; 提出了阴影检测技术的一种新型数字化方法,用于定量测量光学元件表面的局部面形误差量.在阴影测量装置后搭建数字图像提取和处理系统,运用傅里叶光学原理进行测量方法的数学建模.利用数字图像系统提取阴影检测图像,通过对阴影检测图像特征的分析重构出光学元件面形.仿真结果表明,运用该模型提取一抛物面镜的面形信息,在一维径向方向上可以达到1 λ(λ=632.8 nm)RMS的重构精度,可以满足光学元件加工粗抛光阶段测量的要求.; 辛科程灏波冯之敬; 关键词：数字化图像处理

大偏离量非球面最接近球面的确定方法被引量：7: 2004年; 能否在元件铣磨成形阶段制造出与要求非球面元件最为接近的球面是确保实现对大口径离轴非球面元件快速制造的关键一步。该文研究在同轴圆形非球面元件最接近球面半径确定方法的基础上,建立了离轴非球面元件坐标系与机床加工坐标系之间的变换矩阵,并以非球面与比较球面之间残余矢高作为评判参量,分别构建了材料去除量为正准则和材料去除余量最小准则的判断方法。最后以一块770mm×220mm的矩形离轴非球面反射镜为实例进行了模拟分析,确定了其最接近球面半径,通过实验发现加工去除余量大大减少,提高了制造效率,缩短了周期。; 程灏波王英伟冯之敬

永磁流变抛光纳米精度非球面技术研究被引量：10: 2005年; 利用永磁流变抛光技术制造高精度光学元件是一项极具前景的超精密制造技术。对一台五轴联动磁流变数控抛光系统的结构特点、功能特色及关键部件的设计进行了阐述。在此基础上,结合装置开展基础试验,对磁流变抛光过程中的主要控制参量如抛光轮下压量、抛光轮速度等对材料去除特性的影响进行了研究。开展了磁流变抛光对提高工件(K9玻璃)表面粗糙度效果的抛光试验,结果证明该套系统具有良好的磁流变抛光特性,抛光23min后工件表面粗糙度降低到0 6739nm。; 程灏波王英伟冯之敬; 关键词：磁流变抛光非球面抛光轮磁偶极子

Magnetic Bingham fluid-assisted deterministic polishing for super-smooth surfaces被引量：4: 2005年; The characteristics of magnetorheological fin- ishing (MRF) technique such as the behavior of magnetic particles and the magnetic field distribution have been inves- tigated. Based on the established theoretical model, material removal function and removal rate experiments involving a K9 glass mirror are designed and carried out. Further experiments are carried out to improve the surface roughness of the workpiece. The final surface roughness with an initial value of 17.58 nm reached 0.4351 nm rms after 35 min of deterministic MRF, and the AFM measurements on microstructures of the polished surface are also improved by 0.445 nm rms without obvious defects.; CHENGHaoboFENGZhijingWANGYingweiLEIShuting; 关键词：MRF 宾汉流体

国家自然科学基金(50175062)