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国家科技支撑计划(2006BAF06B08)

作品数:12 被引量:19H指数:4
相关作者:马艳李同保钱进殷聪张宝武更多>>
相关机构:同济大学中国计量科学研究院桂林电子科技大学更多>>
发文基金:国家科技支撑计划国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域:理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>

文献类型

  • 12篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 8篇理学
  • 6篇机械工程
  • 4篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 8篇原子光刻
  • 8篇激光
  • 8篇光刻
  • 3篇原子
  • 3篇准直
  • 3篇激光技术
  • 3篇激光冷却
  • 3篇激光准直
  • 3篇光技术
  • 2篇驻波场
  • 2篇稳频
  • 2篇角分布
  • 2篇
  • 2篇DEPOSI...
  • 1篇多普勒
  • 1篇掩膜
  • 1篇英文
  • 1篇荧光
  • 1篇荧光强度
  • 1篇原子激光

机构

  • 8篇同济大学
  • 4篇中国计量科学...
  • 2篇桂林电子科技...
  • 1篇北京理工大学
  • 1篇唐山学院
  • 1篇中国国防科技...

作者

  • 8篇马艳
  • 7篇李同保
  • 4篇张宝武
  • 4篇钱进
  • 3篇殷聪
  • 3篇王建波
  • 2篇张文涛
  • 2篇邓晓
  • 2篇石春英
  • 2篇张萍萍
  • 1篇汪黎栋
  • 1篇雷鸣
  • 1篇崔小虹
  • 1篇焦晓光
  • 1篇卢向东
  • 1篇刘敏
  • 1篇陈晟
  • 1篇马蕊

传媒

  • 3篇红外与激光工...
  • 1篇物理学报
  • 1篇光学技术
  • 1篇中国激光
  • 1篇同济大学学报...
  • 1篇光学学报
  • 1篇激光技术
  • 1篇激光杂志
  • 1篇Chines...
  • 1篇Chines...

年份

  • 4篇2014
  • 1篇2012
  • 2篇2011
  • 2篇2010
  • 3篇2009
  • 1篇2008
12 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
铬原子束激光感生荧光强度的理论和实验
2008年
采用铬原子束激光感生荧光激光稳频技术解决铬原子光刻实验中激光频率随时间漂移的问题.从理论和实验两个方面对铬原子束激光感生荧光强度随激光功率和坩埚温度的变化情况进行了研究.结果显示,在坩埚温度一定的情况下,由于铬原子的饱和效应,当激光功率增大到6 mW左右时,荧光斑点的中心强度会达到饱和然后随激光功率的增加变化不大.另外,随着激光功率的增加,荧光斑点轮廓曲线的半高宽在变大的同时,对比度减小.在激光功率一定的情况下,由于铬原子喷射的个数与坩埚温度成正比,荧光斑点的中心强度随坩埚温度的增加而增加,并且不出现饱和效应;随着坩埚温度的升高,荧光斑点轮廓曲线的半高宽基本不变,而对比度增大.这些变化趋势和理论结果符合地很好.
张宝武李同保张文涛马艳
关键词:原子光刻激光稳频
铬原子束的激光多普勒冷却准直检测实验研究
2010年
本文采用基于激光感生荧光(LIF)的位移探测系统检测了铬原子束中轴向定量百分比原子数的冷却准直发散角,评价了激光的多普勒冷却准直效果。实验结果得到当冷却激光功率为45mW,作用长度为24mm,失谐量为-0.5Γ的情况下,铬原子束中轴向定量50%原子数的发散角由冷却准直前的1.07±0.10mrad减小到冷却准直后的0.46±0.10mrad,并且其准直发散角随着冷却激光功率的增加而减小。文章最后用半经典理论数值模拟计算了实验结果并与之作了比较。
汪黎栋李同保马艳卢向东
关键词:原子光刻激光冷却
原子纳米光刻中双层光学掩膜的实现方法研究被引量:2
2014年
利用原子光刻的方法制备纳米结构的光栅已经成为了一种较为成熟的工艺。通过原子与激光驻波场的相互作用,利用原子自生在势能场中的偶极力对原子的密度进行调制,从而得到所需要的光栅结构。利用此种工艺所制备的光栅相对于传统工艺来说具有精度高,光栅常数直接溯源于原子能级。希望能够通过对激光的改良来提升原子沉积结果。通过双层驻波场来提高原子沉积质量已经被多次提到。实验中利用几何光学的方法实现了所需要的新型激光驻波场。并对其汇聚,相干等特性进行了研究,取得了较为满意的结果。为利用双层驻波场来沉积原子打下了基础。
陈晟马艳张萍萍王建波邓晓肖盛炜马蕊李同保
关键词:原子光刻几何光学
预准直狭缝对铬原子束一维横向多普勒激光冷却准直效果的影响
为了研究预准直狭缝的特征值(横向尺寸及其距离坩埚口的位置)对铬原子束一维横向多普勒激光冷却准直效果的影响,从冷却准直激光场中原子所受到的力入手,利用适当步长的四阶Runge-Kutta算法对此进行了模拟,结果表明如果预准...
张宝武马艳李同保
关键词:激光技术激光冷却原子光刻
文献传递
刀口法测量铬原子激光冷却温度被引量:5
2011年
介绍了刀口法测温原理。在自主研制的铬原子光刻系统上,利用稳定到52Cr的7S3→7P04跃迁上的真空波长为425.5 nm的激光,对高温原子炉喷射的铬原子束进行了一维多普勒冷却准直。设计搭建了刀口法测温实验装置,对激光多普勒冷却准直效果进行了定量评价。在激光功率为45 mW,失谐量为-2.5 MHz,光斑大小为1 mm×20 mm的条件下,观察到了明显的冷却现象。在此基础上采用刀口法测温,测得激光冷却后铬原子束角分布的半峰全宽为(0.616±0.007)mrad,横向温度为(418±10)μK。这些结果为优化调整铬原子束激光冷却准直实验提供了依据。
焦晓光殷聪石春英钱进
关键词:原子光刻角分布
利用稳频激光稳定F-P腔腔长的研究被引量:4
2010年
为实现对F-P腔腔长的控制,设计了F-P腔腔长锁定控制系统。该系统以633nm稳频激光作为基准光源,通过控制系统驱动压电陶瓷调节F-P腔的腔长,以实现将F-P腔的谐振频率锁定到基准光源的频率上。实验结果表明,该方案切实可行,锁定后的F-P腔腔长的不确定度可达10-10量级。该方法在原子沉积技术中对于实现沉积台的稳定具有重要的指导意义。
刘敏崔小虹钱进
关键词:F-P腔
Laser-Focused Atomic Deposition for Nanascale Grating被引量:1
2011年
Laser-focused atomic deposition is a technique with which nearly resonant light is used to pattern an atom beam.To solve the problem that the result of laser-cooled atoms cannot be monitored during the 30-min depositing time,we present a three-hole mechanically precollimated aperture apparatus.A 425 nm laser light standing wave is used to focus a beam of chromium atoms to fabricate the nanoscale grating.The period of the grating is 213±0.1 nm,the height is 4 nm and the full width at half miximum is 64±6 nm.
马艳李同保巫文肖伊立张萍萍龚卫刚
关键词:FOCUSCHROMIUM
原子光刻制备铬原子纳米条纹的实验研究
2014年
原子光刻技术可以制备高重复性的铬原子纳米条纹光栅,这种光栅可以作为纳米节距标准,实现对高精度的扫描探针式显微镜、电子显微镜等高端仪器的校准。高真空腔体中的固态铬原子受高温喷发出气态原子束,运动的原子束在冷却激光场和激光驻波场的分别作用下,实现原子束的准直与汇聚,沉积在位于激光驻波场后面的InP基片上。经过3h的堆积,得到间距为212.78nm,高度为9nm的铬原子纳米条纹光栅。针对条纹生长速率较慢的问题,分析了具体原因,为后续工作提供参考。
王建波邓晓张萍萍马艳殷聪钱进李同保
关键词:原子光刻激光准直
激光功率对铬原子束一维沉积的影响被引量:5
2009年
以粒子光学方法为基础,利用适当步长的四阶Runge-Kutta算法模拟研究了准直铬原子束经过波长为425.55 nm,功率分别为3.93 mW和40 mW的一维高斯激光驻波场汇聚作用后所沉积的一维条纹情况。在以上两种激光功率下,沉积条纹沿ox方向的结构质量的周期性相同,而沿着oy方向的结构质量却存在很大的差异:在3.93 mW时,每一根沉积条纹在oy方向上都非常清晰,并且半高宽在[-0.5,0.5](以激光束腰半径为单位)的区域内具有较好的一致性,对比度在[-0.2,0.2]区域内有较好一致性;在40 mW时,每一根沉积条纹呈现出较为复杂的结构,在激光束的中轴区域附近[-1.08,1.08]内,原本在3.93 mW时的一根条纹分裂成三根。另外,3.93 mWH寸y=0的平面内条纹情况和40 mW时y=±1.08平面内情况对应性很好,即平均间距为212.78 nm,半高宽为21.65 nm,对比度为24.78。分析结果表明,较好地沉积条纹与适当激光功率有关。
张宝武马艳李同保张文涛
关键词:激光技术
Analysis of Cr atom focusing deposition properties in the double half Gaussian standing wave field
2014年
The use of the dipole force on atoms is a new technology that is used to build nanostructures.In this way,a high quality standard nano-grating can be obtained.Based on the semi-classical model,the motion equation is investigated and the trajectories of atoms in double half Gaussian standing wave field are simulated.Compared with the Gaussian standing wave field,the double half Gaussian standing wave can well focus the Cr atoms.In order to obtain this kind of beam,a prism is designed and the experimental result shows that the beam is well generated.
陈晟马艳张萍萍王建波邓晓肖盛炜马蕊李同保
关键词:驻波场
共2页<12>
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