天津市科技攻关项目(06YFGPGX08400)
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
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- 薄膜电阻器用磁控溅射高阻靶材被引量：3
- 2009年
- 在用磁控溅射技术制备金属膜电阻器的生产过程中,靶材非常关键,它制约着金属膜电阻器的精度、可靠性、稳定性和电阻温度系数等性能。根据理论分析,提出了高稳定性的高阻靶材的最佳成分比例。自行设计了熔炼模壳及冷却方法,有效解决了因Si元素的脆性而引发的靶材开裂问题。溅射的金属膜电阻器,其高温储存试验、寿命试验、耐湿试验均达到了国家有关标准。
- 张之圣白天王秀宇
- 关键词：金属膜电阻器溅射靶材熔炼技术
- 薄膜电阻器用磁控溅射高阻靶材被引量：1
- 2009年
- 在用磁控溅射技术制备金属膜电阻器的生产过程中,靶材非常关键,它制约着金属膜电阻器的精度、可靠性、稳定性和电阻温度系数等性能。根据理论分析,提出了高稳定性的高阻靶材的最佳成分比例。自行设计了熔炼模壳及冷却方法,有效解决了因Si元素的脆性而引发的靶材开裂问题。溅射的金属膜电阻器,其高温储存试验、寿命试验、耐湿试验均达到了国家有关标准。
- 张之圣白天王秀宇
- 关键词：金属膜电阻器溅射靶材熔炼技术
