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中央高校基本科研业务费专项资金(2012QNZT056)
作品数:
2
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相关作者:
李幼真
刘正
陈海波
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相关机构:
中南大学
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中央高校基本科研业务费专项资金
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刘正
供职机构:中南大学
研究主题:扩散阻挡层 阻挡层 N 铜互连 磁控溅射
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李幼真
供职机构:中南大学物理与电子学院
研究主题:扩散阻挡层 TA 阻挡层 N 沉积速率
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陈海波
供职机构:中南大学物理与电子学院
研究主题:TA N 纳米 集成电路 扩散阻挡层
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