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中央高校基本科研业务费专项资金(2012QNZT056)

作品数：2 被引量：1H指数：1
相关作者：李幼真刘正陈海波更多>>
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刘正
供职机构：中南大学
研究主题：扩散阻挡层 阻挡层 N 铜互连 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李幼真
供职机构：中南大学物理与电子学院
研究主题：扩散阻挡层 TA 阻挡层 N 沉积速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈海波
供职机构：中南大学物理与电子学院
研究主题：TA N 纳米 集成电路 扩散阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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