武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
- 作品数：41 被引量：45H指数：4
- 相关作者：吕琳周璐更多>>
- 相关机构：湖北大学材料科学与工程学院功能材料绿色制备与应用教育部重点实验室湖北大学材料科学与工程学院苏州大学材料与化学化工学部更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金湖北省教育厅科学技术研究项目湖北省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学化学工程一般工业技术电子电信更多>>
- 微波CVD法低温制备纳米金刚石薄膜被引量：6
- 2006年
- 利用甲醇和氢气的混合气体，用微波等离子体CVD方法在480℃下成功地在硅片表面制备出纳米金刚石薄膜，本文研究了甲醇浓度和沉积温度对金刚石膜形貌的影响．通过Raman光谱、原子力显微镜及扫描隧道显微镜对样品的晶粒尺寸及质量进行了表征．研究结果表明：通过提高甲醇浓度和降低沉积温度可以在直径为50mm的硅片表面沉积高质量的纳米金刚石薄膜，晶粒尺寸大约为10～20nm，并对低温下沉积高质量的纳米金刚石薄膜的机理进行了讨论．
- 满卫东汪建华王传新马志斌王升高熊礼威
- 关键词：纳米金刚石微波化学气相沉积甲醇
- 形核密度与氢等离子体处理对沉积CVD金刚石薄膜的影响
- 本实验利用2kW微波等离子体化学气相沉积设备,系统探究了不同形核密度和氢等离子体处理对CVD金刚石膜沉积的影响.利用SEM、XRD和Raman光谱对样品的形貌、结构和质量进行了表征,结果表明:形核密度越低,金刚石膜的晶粒...
- 翁俊刘繁孙祁王小安黄平周璐吴骁汪建华
- 关键词：金刚石膜晶粒尺寸
- 文献传递
- 高气压CVD化学气相沉积金刚石膜的发射光谱研究
- 了解高气压CVD化学气相沉积金刚石膜过程中等离子体内部基团和微观参数,对金刚石膜沉积机理和工艺控制都非常重要。利用发射光谱法对压缩波导微波CH_4/H_2等离子体化学气相沉积金刚石薄膜过程中的等离子体进行了光谱诊断,确定...
- 翁国峰马志斌
- 文献传递
- 有机改性蒙脱土的制备及其对聚乙烯-聚苯乙烯相态和力学性能的影响被引量：3
- 2019年
- 利用Gemini表面活性剂对蒙脱土进行插层改性制备得到有机改性蒙脱土(OMMT),采用溶液混合法制备了OMMT/聚苯乙烯(PS)母料,将OMMT/PS母料与聚乙烯(PE)熔融共混制备得到OMMT/PS-PE复合材料。研究了蒙脱土的插层改性对OMMT/PS-PE复合材料相形态和力学性能的影响。对OMMT进行FTIR、XRD、TG表征,结果表明Gemini表面活性剂成功插层进入蒙脱土层间。通过SEM和电子万能试验机研究了OMMT/PS-PE复合材料相结构、分散相粒径的及相态与力学性能之间的关系。结果表明,随着OMMT含量的增加,PS分散相的粒径逐渐减小;当OMMT含量为2.5wt%时,OMMT/PS-PE复合材料的相形态由“海-岛”转变为双连续结构。与未添加OMMT的PE-PS树脂相比,OMMT/PS-PE复合材料弯曲模量和断裂伸长率显著提高,分别提高了约18%和近50倍。
- 柯贤忠刘治田胡芹游峰张旗
- 关键词：聚乙烯聚苯乙烯相形态
- 发射光谱法在MPCVD沉积金刚石中的应用
- <正>CVD沉积金刚石膜是一种具有优异的光学、热学、机械性能及化学惰性的功能材料,能够满足众多领域的应用要求。在采用MPCVD沉积金刚石中等离子体中基团种类、分布及作用机理对薄膜质量的影响至关重要。发射光谱法作为一种便捷...
- 曹为马志斌
- 文献传递
- 发射光谱Stark展宽法同时测量高气压放电氢等离子体的电子密度和电场强度
- 等离子体作为一种由大量微观粒子组成的热力学体系,其中热运动和电磁作用过程共存,描述其热力学性质的物理量—温度就表现出相当的复杂性。为了研究等离子体中的基元物理一化学过程以及改进等离子体工艺流程,有必要对其中的各种参数进行...
- 吴利峰马志斌
- MPCVD谐振腔内电磁场分布的数值模拟
- 采用时域有限差分算法对MPCVD装置谐振腔中电磁波的分布进行了数值计算;推导出麦克斯韦方程在谐振腔内电磁场分布的数学模型;采用Ansoft软件对腔体中的电磁分布进行了模拟。根据模拟的电场形状以及其它相关的数据,判断此时反...
- 刘繁汪建华
- 关键词：MPCVD谐振腔数值模拟反应器
- 高降噪聚合物基复合材料的制备及声学性能研究进展
- 2023年
- 从聚合物吸声材料和隔声材料两方面入手,简要介绍了多孔吸声材料、多层吸声材料、复合多孔吸声材料,单层隔声材料以及多层隔声材料的作用机理;基于现有材料性能的局限性,综述聚合物复合降噪材料的制备方法和提高降噪性能的途径;此外,结合文献介绍了层状复合降噪材料、环保型复合降噪材料和声学超材料的制备及声学特性研究进展,为今后降噪聚合物材料的研究提供了方向;最后,简要展望了高降噪复合材料的发展前景。
- 吕冲朱雯雯史正雪加英姿江学良游峰黄李纲姚楚刘仿军
- 关键词：吸声隔声层状结构
- 氢气浓度对掺氮超纳米金刚石薄膜的影响被引量：2
- 2015年
- 采用微波等离子体化学气相沉积法,以甲烷和氮气为气源,通过改变反应气体中氢气的浓度,在硅衬底上沉积出掺杂氮的超纳米金刚石膜。并利用扫描电子显微镜,拉曼光谱仪,X射线衍射仪,霍尔效应测试仪分别对掺杂氮的超纳米金刚石膜的表面形貌,组成结构及导电性能进行了进行表征,重点研究了氢气浓度对薄膜特性的影响。结果表明:随着氢气浓度的增加,薄膜的晶粒尺寸逐渐增大;薄膜的质量提高,且由G峰漂移引起的压应力逐渐减小;薄膜导电性变差。
- 吕琳汪建华翁俊张莹崔晓慧
- 关键词：微波等离子体化学气相沉积导电性
- 二氧化碳对同质外延生长单晶金刚石内应力的影响
- 2023年
- 本文研究了在反应气体中引入不同浓度的CO_(2)对微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法同质外延生长单晶金刚石内应力的影响,并对其作用机理进行了分析。研究发现,随着CO_(2)浓度增加,单晶金刚石内应力逐渐减小,这是由于添加的CO_(2)提供了含氧基团,可以有效刻蚀金刚石生长过程中的非金刚石碳,并能够降低金刚石中杂质的含量,从而避免晶格畸变,减少生长缺陷,并最终表现为单晶金刚石内应力的减小,其中金刚石内应力以压应力的形式呈现。此外反应气体中加入CO_(2)可以降低单晶金刚石的生长速率和沉积温度,且在合适的碳氢氧原子比(5∶112∶4)下能够得到杂质少、结晶度高的单晶金刚石。
- 贾元波满卫东伍正新梁凯林志东
- 关键词：单晶金刚石MPCVD内应力二氧化碳
