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株式会社新柯隆

作品数：100 被引量：0H指数：0
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相关领域：文化科学电子电信理学一般工业技术更多>>

合作机构

文献类型

  • 99篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 9篇电子电信
  • 9篇文化科学
  • 3篇理学
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 55篇基板
  • 44篇成膜
  • 34篇真空容器
  • 22篇离子
  • 18篇膜厚
  • 17篇溅射
  • 14篇靶材
  • 13篇照射
  • 12篇排气
  • 11篇等离子体
  • 11篇真空
  • 10篇离子源
  • 9篇反应性
  • 8篇光学
  • 7篇储藏
  • 6篇蒸发
  • 6篇蒸汽压
  • 6篇成膜过程
  • 6篇成膜剂
  • 5篇光学特性

机构

  • 100篇株式会社新柯...
  • 6篇学校法人东海...

传媒

  • 1篇表面技术

年份

  • 3篇2024
  • 4篇2023
  • 9篇2022
  • 3篇2021
  • 4篇2020
  • 6篇2019
  • 9篇2018
  • 6篇2017
  • 8篇2016
  • 5篇2015
  • 8篇2014
  • 11篇2013
  • 6篇2012
  • 5篇2011
  • 1篇2010
  • 3篇2009
  • 2篇2008
  • 2篇2007
  • 3篇2006
  • 1篇2005
共 100 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
薄膜形成方法和薄膜形成装置
本发明的课题在于提供一种薄膜形成方法，其能够省去测试成膜所导致的成膜浪费，能够提高成膜效率。所述薄膜形成方法为：溅射靶材(29a、29b)，在保持于旋转筒(13)且旋转的基板(S)和监视基板(S0)上以目标膜厚T1形成作...
日向阳平佐井旭阳大泷芳幸盐野一郎姜友松
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成膜方法和成膜装置
本发明提供可有效地进行防污膜的成膜的成膜装置，该防污膜的耐磨耗性能不但可耐实用而且耐磨耗性能也进一步得到提高。本发明的成膜装置(1)为将具有用于保持两个以上基板(14)的基体保持面的基板支架(12)可旋转地配设在真空容器...
盐野一郎林达也姜友松长江亦周宫内充祐佐守真悟
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溅射装置和使用了该溅射装置的成膜方法
具备：成膜室(11)，其中，在基板(S)形成膜；减压装置(19)，其使上述成膜室内为减压气氛；圆盘状的基板架(12)，其可旋转地设置于上述成膜室内，在一个主表面具有可自转地保持上述基板的基板保持部(14)；驱动装置(13...
大胡嘉规宫内充祐青山贵昭
薄膜形成装置
本实用新型提供一种薄膜形成装置，在调整形成于基板的薄膜的膜厚的同时提高了蒸镀材料的利用效率。真空蒸镀装置（100）具备：真空槽（1）；基板保持器（2）和基板保持器保持部件（3），它们收纳于所述真空槽（1）内；以及蒸镀源，...
林达也姜友松盐野一郎长江亦周
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反应性溅射装置和使用了该反应性溅射装置的复合金属化合物或混合膜的成膜方法
本发明具备：成膜室(11)；基板支托(12)，其设置于上述成膜室，对进行成膜的基板S进行保持；减压机(13)，其将上述成膜室减压至规定压力；放电气体导入机(15)，其将放电气体导入至上述成膜室；与一个上述基板对置的两个以...
税所慎一郎
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蒸镀装置及薄膜装置的制造方法
本发明提供一种能够抑制成膜条件的经时变化的蒸镀装置(1)。所述蒸镀装置(1)具备：被支承在接地的真空容器(10)内的基板支架(12)、保持在基板支架(12)上的基板(14)、离开基板(14)并与基板(14)相向的蒸发源(...
塩野一郎姜友松本多博光村田尊则
薄膜的制造方法及溅射装置
2008年
本发明提供简单易行的制造膜厚倾斜程度大的薄膜的薄膜制造方法及溅射装置。该方法通过使真空室内的成膜工序区和反应工序区在空间上相互分离并通过溅射形成薄膜。在中间薄膜形成工序形成由不完全反应物形成的中间薄膜。该中间薄膜形成工序中，在基板S和靶之间设有使形成的薄膜膜厚均匀的修正板和使形成的薄膜具备对应基板S形成薄膜的面的所需膜厚分布的屏蔽板，在基板S相对修正板和屏蔽板移动的同时形成中间薄膜。在形成最终薄膜的膜组成转化工序中，在反应工序区使中间薄膜和反应性气体的活性基反应，使最终薄膜的膜厚与中间薄膜的膜厚相比有所增加。
关键词：转化工序膜形成
油扩散泵和用于该油扩散泵的油蒸气产生器
提供一种油扩散泵，其具备可消除在使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。一种真空泵，其中，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，通过使该油蒸气产生器(70)工作来使工作油(8)气化从而产生油蒸气，将该油蒸...
税所慎一郎
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蒸镀装置及薄膜装置的制造方法
本发明提供一种能够抑制成膜条件的经时变化的蒸镀装置(1)。所述蒸镀装置(1)具备：被支承在接地的真空容器(10)内的基板支架(12)、保持在基板支架(12)上的基板(14)、离开基板(14)并与基板(14)相向的蒸发源(...
塩野一郎姜友松长江亦周本多博光村田尊则
油扩散泵以及真空成膜装置
提供一种油扩散泵，其具有能够解决使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。该油扩散泵为真空泵，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，使该油蒸气产生器(70)工作以使工作油(8)气化而成为油蒸气，将该油蒸气从...
税所慎一郎
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