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聚束科技(北京)有限公司

作品数：83 被引量：0H指数：0
相关机构：中国科学院自动化研究所哈尔滨理工大学中国家用电器研究院更多>>
发文基金：黑龙江省自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>

合作机构

文献类型

  • 80篇专利
  • 3篇期刊文章

领域

  • 10篇电子电信
  • 6篇自动化与计算...
  • 4篇机械工程
  • 3篇文化科学
  • 3篇理学
  • 1篇经济管理
  • 1篇化学工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇医药卫生
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 37篇电子束
  • 27篇电子源
  • 27篇扫描电子显微...
  • 18篇显微镜
  • 17篇磁透镜
  • 14篇透镜
  • 11篇图像
  • 11篇粒子束
  • 11篇二次电子
  • 11篇背散射
  • 10篇偏转
  • 8篇电子显微镜
  • 8篇真空
  • 8篇光学
  • 7篇镜筒
  • 7篇光阑
  • 7篇光轴
  • 6篇供气
  • 6篇光学显微镜
  • 5篇底面

机构

  • 83篇聚束科技(北...
  • 2篇中国科学院自...
  • 1篇哈尔滨理工大...
  • 1篇中国家用电器...
  • 1篇中家院(北京...

作者

  • 2篇马宏图
  • 1篇宋立新
  • 1篇牛滨
  • 1篇曾皓

传媒

  • 1篇哈尔滨理工大...
  • 1篇家电科技
  • 1篇管理学家

年份

  • 8篇2024
  • 11篇2023
  • 11篇2022
  • 7篇2021
  • 9篇2020
  • 8篇2019
  • 9篇2018
  • 20篇2017
共 83 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
一种芯片样品、芯片样品制样工具和制样方法
本申请实施例提供了一种芯片样品，包括：支撑边框、芯片和凝固的胶液；其中，所述支撑边框为中空无底的柱状结构；所述凝固的胶液充满所述支撑边框内部、且与支撑边框的两个底面共平面；除所述芯片待观察面之外，所述芯片的其他部分被所述...
李杨张韩谭宇琦张琛费雅茜
一种电子显微镜
本发明公开了一种电子显微镜，包括：电子源，用于产生电子束；第一束导管，用于加速所述电子束；第二束导管，用于加速所述电子束；第一探测器，设置于所述第一束导管和所述第二束导管之间，用于接收所述电子束作用于待测样品上产生的二次...
李帅
一种真空气氛处理装置及样品观测系统
本实用新型公开了一种真空气氛处理装置，所述装置的顶部与外部的电子束产生装置连接，其特征在于，所述装置为轴对称结构，所述装置从中心轴向外依次包括：中心通道、第一抽气通道、供气腔室和至少一个第二抽气腔室；其中，所述中心通道的...
何伟李帅
文献传递
一种扫描电子显微镜系统
本实用新型公开了一种扫描电子显微镜系统，包括：电磁交叉场分析器、由电透镜和磁透镜构成的复合物镜、镜后偏转装置和样品台；其中，电磁交叉场分析器，位于磁透镜的上极靴与产生入射至所述扫描电子显微镜系统的初始电子束的电子源之间，...
李帅何伟王瑞平
文献传递
一种全自动化的扫描电子显微镜及其探测方法
本文提供了一种全自动化的扫描电子显微镜及其探测方法，所述扫描电子显微镜包括：由第一光学显微镜和平移台构成的光学导航系统，以及由电子源和电子光学镜筒构成的扫描电子显微镜装置，该光学导航系统还包括：位于所述第一光学显微镜下方...
李帅何伟齐少争王瑞平
文献传递
低能扫描电子显微镜系统、扫描电子显微镜系统及样品探测方法
本发明公开了一种低能扫描电子显微镜系统，包括：电子源，用于产生电子束；电子加速结构，用于增加所述电子束的运动速度；复合物镜，用于对经所述电子加速结构加速的电子束进行汇聚；偏转装置，用于改变所述电子束的运动方向；探测装置，...
李帅何伟
文献传递
一种扫描电子显微镜
本发明公开了一种扫描电子显微镜，包括：电子光学镜筒，用于产生电子束，并将电子束聚焦到样品上；第一探测器，用于接收电子束作用于所述样品上产生的电子；第二探测器，用于接收电子束作用于所述样品上产生的光子；所述第二探测器包括反...
刘莎何伟
文献传递
一种靶材组件和X射线显微镜
本实用新型公开了一种靶材组件和X射线显微镜，该靶材组件包括第一段，所述第一段包括第一散热层，所述第一散热层设置有第一凹槽，所述第一凹槽内设置有第一靶材，所述第一靶材具有受电子束作用的第一作用面，所述第一作用面相对于所述第...
李帅曲士座寇会民
一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质
本申请实施例提供了一种聚焦控制方法，包括：基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，...
张琛谭宇琦张韩李杨费雅茜
一种电子束系统
本发明公开了一种电子束系统，包括：电子源，用于产生电子束；第一束导管，用于加速所述电子束；第二束导管，用于加速所述电子束；第一控制电极，设置于所述第一束导管和所述第二束导管之间，用于改变所述电子束作用于待测样品上产生的背...
李帅
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