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北京科华微电子材料有限公司

作品数：69 被引量：48H指数：5
相关作者：郑金红孙嘉穆启道李冰何鉴更多>>
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相关领域：电子电信化学工程经济管理医药卫生更多>>

合作机构

文献类型

  • 53篇专利
  • 11篇期刊文章
  • 5篇会议论文

领域

  • 19篇电子电信
  • 17篇化学工程
  • 4篇经济管理
  • 2篇医药卫生

主题

  • 43篇光刻
  • 40篇光刻胶
  • 21篇树脂
  • 11篇组合物
  • 10篇化合物
  • 9篇交联
  • 8篇感光
  • 8篇感光剂
  • 6篇离子
  • 6篇酚醛
  • 6篇酚醛树脂
  • 6篇苯环
  • 5篇阴离子
  • 5篇阴离子聚合
  • 5篇色谱
  • 5篇嵌段
  • 5篇自组装
  • 5篇基体树脂
  • 5篇分子
  • 4篇电路

机构

  • 69篇北京科华微电...
  • 38篇上海彤程电子...
  • 33篇彤程新材料集...
  • 22篇北京科华丰园...
  • 16篇北京彤程创展...
  • 13篇彤程化学(中...
  • 3篇北京化学试剂...
  • 2篇北京化工大学
  • 2篇清华大学
  • 2篇常州强力电子...
  • 1篇中国科学院

作者

  • 13篇孙嘉
  • 10篇李冰
  • 9篇郑金红
  • 5篇穆启道
  • 3篇陈昕
  • 2篇聂俊
  • 2篇侯宏森
  • 2篇陈昕
  • 2篇刘国栋
  • 2篇何鉴
  • 1篇盛瑞隆
  • 1篇石小亮
  • 1篇李冰

传媒

  • 5篇精细与专用化...
  • 3篇影像科学与光...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇新材料产业
  • 1篇前瞻科技
  • 1篇2006全国...
  • 1篇第七届中国国...
  • 1篇中国化工学会...
  • 1篇第十七届中国...
  • 1篇2016第十...

年份

  • 5篇2024
  • 16篇2023
  • 8篇2022
  • 12篇2021
  • 1篇2020
  • 4篇2018
  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 4篇2015
  • 3篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2010
  • 4篇2009
  • 2篇2008
  • 3篇2007
  • 2篇2006
共 69 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
超净高纯试剂的现状与制备
本文根据我国微电子技术发展对超净高纯试剂的要求,阐述了国内外超净高纯试剂的现状、应用及制备技术的发展方向.
穆启道
关键词：微电子技术
文献传递
用于浸没式工艺的光刻胶研究进展被引量：2
2009年
浸没式光刻技术是在原干法光刻的基础上采用高折射率浸没液体取代原来空气的空间,从而提高光刻分辨率的一种先进技术.此项技术的实际应用,为当前IC产业的飞速发展起到了关键的作用.本文概述了浸没式光刻技术的发展历程和浸没式光刻胶遇到的挑战及要求;对浸没式光刻胶主体树脂、光致产酸剂及添加剂的研究进展进行了综述;最后对浸没式光刻胶的研究发展方向作了进一步的探讨及初步预测.
何鉴盛瑞隆穆启道
关键词：浸没式光刻光刻胶
一种含醌二叠氮基化合物样品中酚类骨架的鉴定方法
本申请涉及一种含醌二叠氮基化合物样品中酚类骨架的鉴定方法，涉及化合物分析的领域，其包括以下步骤：在醇的存在下，使待测样品与强碱试剂发生水解反应，得到包含目标产物的混合溶液；对混合溶液进行除水处理，随后加入有机溶剂并过滤，...
高剑琴李冰鲁代仁董栋张宁
一种新型负性化学放大光刻胶及其成像方法
本发明提供一种新型负性化学放大光刻胶及其成像方法，该负性化学放大光刻胶含有苯酚类树脂、光致产酸剂、交联剂、碱性添加剂、敏化剂和光刻胶溶剂。其中苯酚类树脂是所述新型负性化学放大光刻胶的主体材料，光致产酸剂是在光照时能够产生...
孙嘉陈昕罗杰·森特李冰刁翠梅李海波韩现涛
文献传递
测定248nm光刻胶树脂中对羟基苯乙烯含量的方法
本发明涉及光刻胶树脂技术领域，具体涉及一种测定248nm光刻胶树脂中对羟基苯乙烯含量的方法。该方法包括：(a)取不同已知对羟基苯乙烯摩尔含量的同类型保护基团的树脂溶液标准品，旋涂烘干制备膜层，测定膜层厚度；(b)测定各膜...
房彩琴孙嘉李冰鲁代仁王文芳董栋张宁
一种抽真空系统
本实用新型属于真空系统技术领域，公开了一种抽真空系统，包括：用于抽真空的真空泵、用于缓冲的缓冲瓶和应用设备，所述真空泵和应用设备之间连接有缓冲瓶，所述真空泵和缓冲瓶之间设有调压阀，所述真空泵包括第一真空泵和第二真空泵，所...
石小亮欧永英
文献传递
测试丙烯酸叔丁酯与对羟基苯乙烯共聚物中重复单元的摩尔分数的方法
本申请涉及光刻胶树脂技术领域，提供了一种测试丙烯酸叔丁酯与对羟基苯乙烯共聚物中重复单元的摩尔分数的方法，通过获得已知两种重复单元的摩尔比的丙烯酸叔丁酯与对羟基苯乙烯共聚物样品中羰基的特征峰高度和苯环对位取代基的特征峰高度...
房彩琴李冰孙嘉鲁代仁董栋张宁
硝基苯甲醇磺酸酯化合物作为增速剂在光刻胶中的应用、用于制备光刻胶的组合物
本申请提供硝基苯甲醇磺酸酯化合物作为增速剂在光刻胶中的应用、用于制备光刻胶的组合物，属于半导体材料技术领域。硝基苯甲醇磺酸酯化合物在受热后会分解产生路易斯质子酸，使其能够作为增速剂添加到酚醛树脂‑重氮奈醌型光刻胶和化学放...
孙嘉李冰马洁陈昕王文芳董栋张宁
文献传递
一种酚类化合物以及制备方法和应用、光刻胶
本申请提供一种酚类化合物以及制备方法和应用、光刻胶，属于光刻技术领域。本申请的酚类化合物能够对光刻胶的分辨率进行改善，同时使得光刻胶具有较好的光刻性能，具体表现为较好的感光度、更大的对比度、侧壁角较垂直的形貌及更大的工艺...
张咪李冰刁翠梅于晓伟陈昕王文芳董栋张宁
文献传递
一种交联剂及其制备方法、光刻胶
本申请提供一种交联剂及其制备方法、光刻胶，属于光刻技术领域。光刻胶包括溶质和第一溶剂，其中，溶质包括70wt％～95wt％碱溶性树脂、1wt％～30wt％光致产酸剂、0.1wt％～15wt％酸淬灭剂和5wt％～20wt％...
王璨孙嘉李冰鲁代仁王文芳董栋张宁
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