何惠阳
- 作品数：61 被引量：309H指数：10
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：吉林省自然科学基金中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新工程资助项目中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
- IC封装设备划片机的研制
- 划片是集成电路(IC)后封装中的第一道工序,其加工质量将直接影响整个生产线的整体质量。本文介绍了中科院长春光机所自行研制的划片机的研制过程。重点阐述了总体机构设计、主要分系统设计和设备的最终检测结果。结果表明,设备主要性...
- 冯晓国张景和张承嘉何惠阳
- 关键词：划片机封装设备集成电路
- 文献传递
- 激光调阻机
- 何惠阳
- 激光调阻机是片式电阻生产线上必不可少的设备，它涉及光学、精密机械、计算机控制、精密检测等多种技术领域。其功能是对片式电阻的阻值进行修整，使批量生产的片式电阻达到高的阻值精度。工作原理是把激光器输出的脉冲激光束聚焦成很小的...
- 关键词：
- 关键词：激光调阻机电阻激光器薄膜电阻器
- 磁悬浮微进给机构的PID控制被引量：10
- 2004年
- 利用磁悬浮技术实现了微进给机构的运动部件与运行导轨之间的无接触支撑,消除了摩擦与磨损,克服了摩擦产生的金属粉尘污染问题。采用主动可控电磁阻尼系统,控制线圈的电流即可控制系统的阻尼,可根据实际应用场合,确定采用恒定阻尼还是时变阻尼。对磁悬浮微进给机构实施PID控制,并进行了仿真试验。结果表明:当阻尼恒定不变时,应使C_2=0.5～1.0,机构的位移控制超调量≤0.933％,绝对稳态误差值≤1.77～2.30μm;当采用时变阻尼系统时,位移控制超调量≤3.617％,绝对稳态误差值≤0.033μm,运动控制达到纳米级准确度。
- 宋文荣于国飞王延风何惠阳韩红霞
- 关键词：磁悬浮技术微进给机构PID控制集成电路
- 磁悬浮进给机构的PID控制及仿真试验被引量：5
- 2003年
- 采用磁悬浮技术把运动部件悬浮在运行导轨之上,利用直线电机无接触驱动运动部件,从而实现机构的进给运动,该运动无摩擦和磨损,是一个无阻尼系统。选用合理的增益系数后,运用PID控制技术可对机构的进给运动进行精确的控制。仿真结果与精度分析表明,磁悬浮无阻尼结构有利于改善进给机构的位移输出动态性能,提高运动控制精度,控制精度误差不大于0.6μm或0.2μm。
- 宋文荣于国飞何惠阳
- 关键词：磁悬浮进给机构PID控制直线电机无阻尼系统
- 四齿差谐波齿轮传动采用渐开线齿廓的合理性证明
- 1999年
- 由于齿差系数的不同，四齿差谐波齿轮传动能否采用渐开线齿廓，不能利用以前的结论。本文研究了当柔轮采用渐开线齿廓时，与之共扼的刚轮采用渐开线对其理论齿廓进行拟合所造成的齿形误差的变化规律。通过与普通小模数渐开线圆柱齿轮传动的齿形公差进行比较，表明只要合理选择变位系数，刚轮就可以采用渐开线齿廓，这为在实际工程中研制四齿差谐波齿轮传动装置打下了理论基础。
- 辛洪兵何惠阳王爱东张承嘉
- 关键词：谐波传动渐开线齿廓齿轮传动
- 电磁端面谐波传动的研究
- 何惠阳谢金瑞孙民平
- 关键词：谐波传动啮合性能分析
- 数控谐波云台
- 数控谐波云台属于自动控制领域中用于监视系统的数控云台,是由底座、方位箱和俯仰箱构成的。方位箱的轴线垂直于俯仰箱的轴线,两个箱体的运动,均由步进电机带动精密谐波齿轮传动实现的。方位运转由柔轮输出实现,俯仰运转由刚轮输出实现...
- 何惠阳张承嘉王爱东钟健谢金瑞
- 文献传递
- 接触理论在空间遥感器动力学分析中的应用
- 2004年
- 空间遥感器在发射过程中要经历复杂恶劣的力学环境,为保证遥感器具有高可靠性,必须具有足够的动力学刚度。在利用有限元软件进行动态特性工程分析时,常因对结构中连接环节的简化不当而导致计算结果偏差较大。将经典的接触理论应用到空间遥感器的动力学有限元分析中,首先分析遥感器连接部分的接触情况,然后在有限元建模中模拟出这种接触情况,求得结构的固有频率。振动试验表明,这种方法能够比较真实地模拟出结构的固有动态特性。
- 丁延卫卢锷何惠阳
- 关键词：动力学有限元遥感器
- 磁悬浮精密定位工作台设计与有限元综合分析
- 本文利用磁悬浮技术将工作台悬浮在导轨上,消除了摩擦和磨损,采用直线电机无接触驱动实现了工作台的精密定位.针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的磁悬浮精密定位工作台进行了CAD结构设计,有限元电磁场分析,在采用有限元软件...
- 王延风卢志山何惠阳宋文荣
- 关键词：磁悬浮光刻机电磁场分析结构力学分析模态测试
- 文献传递
- 柔轮齿圈对其应力影响的研究(英文)被引量：5
- 1998年
- 轮齿影响系数（ＥＣＧＴ）是研究柔轮疲劳寿命时一个非常重要的参数。本文首先在几个假设的基础上建立了研究轮齿影响系数的数学模型，较为准确地推导出计算轮齿影响系数的数学公式，详细分析了啮合参数和几何参数对该系数的影响。
- 辛洪兵何惠阳谢金瑞
- 关键词：谐波传动应力影响
