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一种铌酸锂光波导的制备方法: 本发明提供了一种铌酸锂光波导的制备方法，该方法选用掺锌或者掺镁的铌酸锂晶体，采用外加电场极化的方法在掺杂铌酸锂晶体上制作周期畴反转结构，以此为波导层，通过折射率低于波导层的光学胶与铌酸锂或者钽酸锂衬底黏胶键合，再用ICP...; 孙军强周钰杰冯力群; 文献传递

一种周期极化反转铌酸锂光波导: 本发明提供了一种周期极化反转铌酸锂光波导，包括衬底、位于衬底上的波导层、上光子晶体和下光子晶体，下光子晶体生长于衬底与波导层之间，上光子晶体生长于波导层上，所述上光子晶体和下光子晶体能够使周期极化反转铌酸锂光波导的基频光...; 孙军强周钰杰冯力群; 文献传递

周期极化反转铌酸锂光波导的结构设计及理论研究: 铌酸锂晶体具有非常优越的电光、声光、非线性等光学特性,因此基于铌酸锂材料的光波导可以用来制备各种光学器件,包括电光调制器、可调谐滤波器、放大器以及各种类型的(可调谐)激光器、非线性波长转换器,尤其是周期极化反转铌酸锂光波...; 冯力群; 关键词：铌酸锂光波导波长转换效率; 文献传递

一种铌酸锂光波导的制备方法: 本发明提供了一种铌酸锂光波导的制备方法，该方法选用掺锌或者掺镁的铌酸锂晶体，采用外加电场极化的方法在掺杂铌酸锂晶体上制作周期畴反转结构，以此为波导层，通过折射率低于波导层的光学胶与铌酸锂或者钽酸锂衬底黏胶键合，再用ICP...; 孙军强周钰杰冯力群

一种周期极化反转铌酸锂光波导: 本发明提供了一种周期极化反转铌酸锂光波导，包括衬底、位于衬底上的波导层、上光子晶体和下光子晶体，下光子晶体生长于衬底与波导层之间，上光子晶体生长于波导层上，所述上光子晶体和下光子晶体能够使周期极化反转铌酸锂光波导的基频光...; 孙军强周钰杰冯力群

PPLN光波导中传输光波模场重叠因子分析: 2012年; 为了研究铌酸锂光波导中传输光波模场重叠因子对波长转换效率的影响,采用有限差分的方法进行了波导中传输光波模场及差频波长转换效率的研究,得到了波导中1560nm基频光和780nm倍频光光场分布以及引入模场匹配因子进行修正后的差频波长转换效率。结果表明,修正后的转换效率理论值与实验结果更加吻合,并且能够得到直接键合铌酸锂波导的最佳尺寸。这为周期极化铌酸锂脊形光波导的设计提供了理论依据。; 周钰杰冯力群孙军强; 关键词：集成光学铌酸锂光波导波长转换

掺镁铌酸锂晶体的ICP刻蚀性能被引量：4: 2012年; 掺镁铌酸锂晶体(Mg:LiNbO3)是一种相对难刻蚀的晶体,Mg:LiNbO3的干法刻蚀速率和刻蚀形貌控制是铌酸锂光电子器件加工中的关键技术之一。采用牛津仪器公司的Plasmalab System 100以SF6/Ar为刻蚀气体,具体研究Mg:LiNbO3的刻蚀速率随着感应耦合等离子体(ICP)功率、反应离子刻蚀(RIE)功率、气室压强和气体流量配比等刻蚀参数的变化,同时研究发现SF6/(Ar+SF6)气体流量配比还会影响刻蚀表面的粗糙度。实验结果表明:在ICP功率为1000W,RIE功率为150W,标准状态(0℃,1个标准大气压)下气体总流量为52mL/min,压强为0.532Pa,SF6/(Ar+SF6)气体体积分数为0.077的条件下,刻蚀速率可达到152nm/min,刻蚀表面粗糙度为1.37nm,可获得刻蚀深度为2.5μm,侧壁角度为74.8°的表面平整脊形Mg:LiNbO3结构。; 周钰杰冯力群孙军强; 关键词：集成光学光学器件刻蚀速率

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冯力群