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刘舸
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49
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
商立伟
中国科学院微电子研究所纳米加工...
刘兴华
中国科学院微电子研究所纳米加工...
柳江
中国科学院微电子研究所纳米加工...
王宏
兰州大学物理科学与技术学院
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应用于有机电路的双金属电极结构及其制备方法
本发明公开了一种应用于有机电路的双金属电极结构,该结构由有机半导体薄膜、第一层金属薄膜和沉积在该第一层金属薄膜上的第二层金属薄膜构成。对于顶接触式器件结构,该第一层金属薄膜为高功函数金属薄膜,该第二层金属薄膜为廉价金属薄...
商立伟
刘明
涂德钰
甄丽娟
刘舸
刘兴华
文献传递
一种T形沟道的有机场效应晶体管的制作方法
本发明公开了一种T形沟道的有机场效应晶体管的制作方法,该方法包括:在导电基底上生长绝缘介质薄膜;在绝缘介质薄膜表面上旋涂抗蚀剂,光刻得到T形沟道的底电极胶图形;在T形沟道的底电极胶图形表面蒸镀一层金属薄膜;用丙酮剥离掉光...
刘舸
刘明
刘兴华
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王宏
柳江
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一种制备过孔的方法
本发明公开了一种制备过孔的方法,包括:在绝缘衬底上涂敷光刻胶;光刻得到栅电极图形;电子束蒸发或者PECVD沉积金属电极;用丙酮剥离不需要的金薄膜得到器件的栅电极图形;在栅电极上匀胶后再次光刻得到过孔图形;电子束蒸发过孔金...
刘舸
刘明
刘兴华
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柳江
一种制备有机场效应晶体管的方法
本发明公开了一种制备有机场效应晶体管的方法,该方法包括:在衬底上采用光刻和剥离工艺形成分立的金属栅电极;在衬底和栅电极上形成栅介质绝缘层;在栅介质绝缘层上旋涂光刻胶,经过曝光显影得到光刻胶掩模版图形;在栅介质绝缘层和光刻...
甄丽娟
刘明
商立伟
刘舸
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阻变存储器的检测电路及检测设备
本发明公开了一种阻变存储器的检测电路及检测设备。检测电路为:设置字线的电压为预定的读取电压并检测阻变存储器中流动的电流值,在合理的选择取样电阻后,通过比较读取电压和取样电阻上的电压,从而读出存储器中的数据。检测设备包括:...
柳江
刘明
姬濯宇
涂德钰
刘兴华
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刘舸
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应用于有机电路的双金属电极结构及其制备方法
本发明公开了一种应用于有机电路的双金属电极结构,该结构由有机半导体薄膜、第一层金属薄膜和沉积在该第一层金属薄膜上的第二层金属薄膜构成。对于顶接触式器件结构,该第一层金属薄膜为高功函数金属薄膜,该第二层金属薄膜为廉价金属薄...
商立伟
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一种纳米级沟道有机场效应晶体管及其制备方法
本发明属于有机电子技术领域,特别涉及一种纳米级沟道有机场效应晶体管及其制备方法。为了克服现有技术中成本高的缺陷,本发明提供一种纳米级沟道有机场效应晶体管,包括绝缘衬底上的源电极、绝缘层、漏电极、有机半导体层、栅介质层和栅...
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一种T形沟道的有机场效应晶体管的制作方法
本发明公开了一种T形沟道的有机场效应晶体管的制作方法,该方法包括:在导电基底上生长绝缘介质薄膜;在绝缘介质薄膜表面上旋涂抗蚀剂,光刻得到T形沟道的底电极胶图形;在T形沟道的底电极胶图形表面蒸镀一层金属薄膜;用丙酮剥离掉光...
刘舸
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采用有源层图形化制备有机场效应晶体管的方法
本发明公开了一种采用有源层图形化制备有机场效应晶体管的方法,包括:在绝缘衬底上涂敷光刻胶;光刻得到栅电极图形;蒸发或沉积金属电极材料;用丙酮剥离不需要的金薄膜得到器件的栅电极图形;在栅电极上蒸发或沉积一层绝缘介质层材料;...
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一种制备有机场效应晶体管的方法
本发明公开了一种制备有机场效应晶体管的方法,该方法包括:在衬底上采用光刻和剥离工艺形成分立的金属栅电极;在衬底和栅电极上形成栅介质绝缘层;在栅介质绝缘层上旋涂光刻胶,经过曝光显影得到光刻胶掩模版图形;在栅介质绝缘层和光刻...
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