曹晓君
- 作品数：6 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 相关领域：机械工程理学更多>>
- 透过检测中的准直镜精度容限
- 2007年
- 在干涉检验过程中,被检元件的面形误差检测精度受到干涉仪系统结构的影响,从而降低测量结果的可靠性。为了得到较高的检测精度,必须对检测系统进行分析,建立测量误差和系统结构的关联度。根据菲涅耳衍射近似理论,就菲佐干涉仪中的准直镜和标准镜面形误差对透过检测的影响进行了研究。通过对波前相位传递情况的分析,得出波前误差和系统结构参量的相关性,去除空腔系统误差,优化结构参量,并建立准直镜误差容限表达式。经计算得出,当被检面形变误差为0.2λ时,测试误差可以达到0.02λ,而对准直镜的面形误差要求只需0.8λ。
- 曹晓君朱健强李艳红杨毓林强李永国
- 关键词：光学测量
- 干涉仪精确确定光学系统聚焦面的方法和装置
- 曹晓君朱健强林强
- 一种采用干涉仪精确确定光学系统聚焦面的方法和装置，适用于对有限焦距的光学系统装调和检测。该发明可以显著提高装调和检测的精度，而且易于实施，易于调整，有效地解决确定光学系统聚焦面的盲目性。
- 关键词：
- 关键词：光学系统干涉仪
- 干涉仪精确确定光学系统聚焦面的方法和装置
- 一种采用干涉仪精确确定光学系统聚焦面的方法和装置，适用于对有限焦距的光学系统装调和检测。本发明的工作原理是将激光干涉仪发射的标准光通过被测光学系统后，使光反射回干涉仪。而且利用干涉仪易于在其“猫眼”位置得到干涉条纹的道理...
- 曹晓君朱健强林强杨毓
- 文献传递
- 干涉仪精确确定光学系统聚焦面的装置
- 一种采用干涉仪精确确定光学系统聚焦面的装置，包括一台激光干涉仪，在该激光干涉仪的出射光路上同光轴地设有一具有基准面的调整架、一块平面反射镜和一块与待测光学系统相匹配的标准反射镜，所述的平面反射镜置于所述的调整架的基准面上...
- 曹晓君朱健强林强杨毓
- 文献传递
- 干涉仪精确确定光学系统聚焦面的方法和装置
- 一种采用干涉仪精确确定光学系统聚焦面的方法和装置，适用于对有限焦距的光学系统装调和检测。本发明的工作原理是将激光干涉仪发射的标准光通过被测光学系统后，使光反射回干涉仪。而且利用干涉仪易于在其“猫眼”位置得到干涉条纹的道理...
- 曹晓君朱健强林强杨毓
- 文献传递
- 菲索干涉系统精度分析
- 在光学检测过程中，高质量光学件面形精度的实现，除了依赖于良好的加工工艺外，还要求测试系统能够精确重现光学元件面形指标，以避免引入显著的测量误差。干涉仪作为光学面形检测的基本技术，具有方便、快捷、信息量大和无损伤检测等优点...
- 曹晓君
